ESD基础知识(含旁白).ppt

ESD基础知识 海外事业部设备工程部 引入 静电在我们的生活中无处不在，您知道静电的危害吗？ 在我们的工程和维护工作中应该如何做呢？ 学习目标 掌握静电的危害和基本概念 掌握安装维护工作中正确的操作方法 课程内容 第一章 静电危害 对器件的损伤 在所有失效中ESD失效所占比例 对企业的影响——金钱、时间、客户满意度 业界情况 课程内容 课程内容 课程内容 课程内容 课程内容 课程内容 Thanks 第三章 ESD损伤 第二章 静电基本知识介绍 第四章 半导体发展趋势及半导体失效 第五章 ESD的控制 第六章 常用防静电材料和工具介绍 第七章 规范的操作图示 第一章 静电危害 常用防静电材料和工具介绍 Why？ 常用防静电材料 Who？ 常用防静电工具 常用防静电材料 防静电塑料袋 防静电屏蔽袋 防静电纸箱 常用防静电材料 防静电泡膜 防静电吸塑盒 常用防静电材料 易产生静电 防静电吸塑盒 外层泡膜袋没有防静电作用，而且是易产生静电材料！ 常用工具 防静电腕带 防静电垫 防静电垫 金属镊子对磁头ESD实验 Q：+/-6.6nC；V：+/-270V；C镊子~25pF 储存能量：E=1/2CV2=900nJ。磁头在5nJ时熔化。 对磁头放电的瞬态电流图 物质结合和分离会产生静电 胶带在撕下的过程中会产生上千伏的静电！ 哪里有移动，哪里就有摩擦起电 ·物质结合的紧密度 ·分开的速度 ·材料的导电性 ·摩擦系数以及位置 影响摩擦起电的因素 6、影响摩擦起电的因素 人体活动 静电势（相对湿度10~20%） 静电势（ 相对湿度65~90%） 在地毯上走动 35000 1500 在聚乙烯地板上走动 12000 250 在工作台上工作 6000 100 拿聚乙烯纤维包 7000 600 从工作台拿起聚乙烯衬垫 20000 1200 坐在填有聚氟脂泡膜的椅子上 18000 1500 典型的静电电压 干燥的空气更易产生静电电荷！ 空气 石棉 玻璃 云母 头发 尼龙 羊毛 毛皮 铅 丝 铝 纸 钢 木头 琥珀 硬橡胶 铜银 硫磺 聚合物 特氟龙 负电 正电 材料摩擦生电序列表 限制电子自由移动 很大的体电阻＞1011Ω 很少有电子在物体中移动 能够保持大量电荷 在同一种物体的上的不同地方可以保持正电荷和负电荷 绝缘体的耗散只能通过环境，不能通过自己的表面 1、绝缘体的电特性 材料可分以下三类：绝缘体、导体、静电耗散材料 材料的电特性（1） 尼龙 纸板 木头 硬橡胶 常见的绝缘材料 聚和物 聚氟乙烯 特氟龙 导体的电特性 电子在导体表面和体内流动 体电阻＜104Ω 如果连接到地，电荷能被中和 电荷能被积累在没有接地的导体上 在导体上的电荷泻放快 常见导体 人体 铜 锡 钢 铝 最容易产生静电 对地能储存电荷 人在走动时产生静电 产生15千伏的静电很常见 产生35千伏的静电是可能的，但不常见 耗散材料的电特性 电子在材料的表面可以自由移动，但移动的速率由于电阻而受到控制 如果被接地，电荷将被缓慢的释放掉 体电阻:大于104Ω；小于1011Ω 导体上的电荷可以移动 耗散的速率受接地电阻的控制 耗散的低速率将减少损伤的危险 物体充电和电压 物体的充电能导致令人吃惊的高电压！ 物体带的电荷一定时，它的电压取决于电容大小 如果物体电容增大，电压将减小 当物体靠近地表面时，电压减小 物体带的静电电压与物体的等效电容有很大关系 电容由于物体相对于其他物体的位置改变而变 增加电容，电压减少；降低电容，电压升高 第三章 ESD损伤 第二章 静电基本知识介绍 第四章 半导体发展趋势及半导体失效 第五章 ESD的控制 第六章 常用防静电材料和工具介绍 第七章 规范的操作图示 第一章 静电危害 ESD损伤 ESD导致的损伤事例 损伤类型：软损伤、硬损伤 失效原因：电介质击穿、热击穿 ESD损伤导致的损伤事例（1） ESD损伤导致的损伤事例 ESD能引起电波应力（EOS），熔化器件的金属部分 EOS（Electric Overstress）有下列特点：持续时间较长的大电流对器件的大面积损伤，损伤可以观察到 损伤类型：软损伤、硬损伤 1、软损伤 单板、芯片内部受到部分损伤，没有完全损坏，减弱了性能，器件或单板的特性变差，但仍能正常工作和通过测试 2、硬损伤 单板或器件完全被损坏，性能消失、不能工作 损伤类型：软损伤、硬损伤 对微电路中的一段线路做ESD实验发现： 200V~400V时 线路的阻抗没有发现变化 600V时 微电路的性能指标稍有下降，但 仍能通过测试。 800V~900V 出现了局部熔断和孔洞，线路 阻抗发生了明显变化 1000V 线路断路，器件被完全损坏。 200v 400v 600v