试验二光电开关试验-计量技术试验教学中心.PDFVIP

测控专业基础(光点检测方向) 计量技术实验教学中心 1 光电检测实验 实验 1 平面光学零件三维形貌测量 2 实验 2 面内位移的散斑测量 6 实验 3 位移的纳米测量 7 实验 4 光学图像识别9 参考文献 13 2 光电检测实验 光电检测技术是将传统光学与现代微电子技术、计算机技术紧密结合在一起的一门高新 技术，是获取光信息或者借助光来获取其它信息的重要手段。目前光电检测技术已渗透到许 多学科，并得到迅猛发展。 对于精密测量、光电测量、自动控制与检测等专业方向的学生来说，这是一门非常重要 的专业方向课。通过本课程的学习，可以使学生了解和掌握光电转换的基本原理及光电检测 技术所必须的各种知识，了解和掌握常用光电测量方法及常用测量仪器的使用，具备进行各 种基本光电测量所需技能和设计简单光电检测电路的能力。 光电转换技术是研究应用一定的器件及手段，在一定条件下，如何使光能（光信息）转 化成电能，电能转化成光能的技术。能实现上述功能的器件称为光电探测器件，即能够发射、 接收某种电磁辐射（光学辐射）的电子器件。光学辐射包括紫外线、可见光和红外线。 光电系统的共同特点是通过光电检测——所有被研究的信息都将通过各种效应（机、热、 声、电、磁）调制到光载波上，然后将携带被研究的信息光载波转换为电信号，并通过电子 线路和计算机的综合处理，实现光学仪器的自动化。 根据其功能不同，光电检测系统可分为三大类： 1）测量检查型：这是应用最为广泛的一类。其基本功能是进行光学或非光学参量的光 电检测，可测参量包括几何量（长度、角度、形状、位置、变形、面积、体积、距离等）、运 动参量（速度、转动、流量、振动、加速度等）、表面形状参量（工件粗糙度、疵病、伤痕等）、 光学参量（吸收、反射、透射、光度、色度、波长和光谱等）、成分分析（物理属性、浓度、 浊度等）、机械量（质量、应力、应变、压强等）、电磁量（电流、电场、磁场等）以及温度 和放射线的测量等。该检测系统要求可靠的重复示值和可信度，并且要有适用的数据处理能 力和数据输出方式。 2）控制跟踪型：这是一种有光电检测能力的反馈控制系统。光电传感器是信号反馈单 元，当它检测到受控目标相对平衡状态的偏差信号时，可通过闭环控制使目标相对基准实现 伺服跟踪或恒值调节。它的主要应用包括： a.军事和科学应用（激光制导、热定向、飞行物自动跟踪等）； b.工业应用（精密工作台的自动定位、工业图形的自动加工、状态参量的极值控制以及 有视觉能力的机器人等）。 3）图像分析型：它的功能是采集目标的二维或三维的光强空间分布，记录和再现目标 的图像并进行判读、识别或图像的运算处理。在工业图形检测中，图像测量和分析主要依靠 扫描或摄像装置采集光信号（如 CCD 摄像器件），同时进行空间－时间和光量－电量的变换。 其次还需要大容量图像存储器及图像处理软件。 光电探测器可将一定的光辐射转换为电信号，然后经过信号处理，去实现某种目的。它 是光电系统的核心组成部分，其性能直接影响着光电系统的性能。因此，无论是设计还是使 用光电系统，深入了解光电探测器的性能参数都是很重要的。 本部分实验内容主要是光电探测器性能参数测量和光电探测器的一般使用方法，并列举 了近年来越来越得到重视的电荷耦合器件（CCD）和光栅位移传感器的实验内容。 实验 1 平面光学零件三维形貌测量 1．实验目的 （1）了解激光数字干涉测量的原理和方法。 （2）掌握表面三维形貌的高精度实时测量原理。 3 （3）掌握评价指标 PV，RMS 的定义。 2．实验原理 随着电子技术与计算机技术的发展，并与传统的干涉检测方法结合，产生了一种新的形 貌测量——数字干涉位相检测技术，这是一种位相的实时检测技术。这种方法不仅能实现干涉 条纹的实时提取，而且可以利用波面数据的存储功能消除干涉仪系统误差，消除或降低大气 扰动及随机噪声，使干涉技术实现/100 的精度，这是目前干涉仪精度最高的近代方法。其 原理如图10-