针对介质材料的电磁参数测量.PDFVIP

基于谐振腔体法的材料电磁参数测试 刘迪 安捷伦公司网络分析仪产品事业部，北京市朝阳区望京北路 3 号，100102 电话:010邮件：di_liu@ 摘要：针对介质材料的电磁参数测量，业界普遍采用传输反射法，常用的夹具有 同轴空气线、波导、天线、同轴探头等，此种方法适合宽频测量，但是精度相对不 高，此外要求样品的机械加工能力。如果要求很高的精度，更多的是采用谐振腔体 法。本文介绍了一种全新的分裂圆柱体谐振腔体，并且以聚四氟乙烯的测量为例， 详细介绍了采用这种腔体完成介质材料测试的具体过程。此项方法具有精度高、操 作简单的特点，最适合于衬底, 薄膜, PCB 等材料的测量，并且遵循 IPC 测试规范 TM-650 3 。 关键词：谐振腔体；材料测量；电磁参数；网络分析仪 Electromagnetic properties measurement of dielectric material based on resonant cavity method Liu Di CTD, Agilent Technologies, Inc.No.3 WangJing Bei Lu，ChaoYang District, Beijing 100102 Tel:010，Email:di_liu@ Abstract: For the electromagnetic properties measurement of dielectric material, Transmission/Reflection method is commonly employed with coaxial airline, waveguide kits, antenna, and coaxial probe used as fixture, this method is fit for broadband measurement with the relative low accuracy, and also requires high machine capability of sample. If high accuracy is required, resonant cavity method is recommended. In this paper, we will introduce a new Split-Cylinder resonator, and also the whole process for dielectric material measurement taking Teflon for example by use of this resonator. This method is very accurate and easy to use, best for substrates, thin films and PCBs, and complies with IPC test method TM-650 3. Keyword: Resonant cavity ；Material measurement ；Electromagnetic prosperities; Network analyzer 引言 近年来，随着射频微波技术的飞速发展，航空航天、通信技术与信息技术等高 科技领域对射频微波元器件的要求也随着提高，使得射频微波材料在这些领域起到 了越来越重要的作用。对于射频微波材料来说，电磁波在其中的传播完全由材料的 电磁参数决定，在应用各种射频微波材料时，必须通过测试了解其电磁参数。在各 种射频微波器件，微波与毫米波集成电路底板等大量应用射频微波材料的领域，设 计对象的研究和设计都需要准确的材料电磁参数。 材料的电磁参数指复介电常数和复磁导率，其中主要集中于其介电特性的研 究，有关材料磁特性的测量只占少数，所以本文只讨论复介电常数的测试。测量材 料复介电常数的方法有很多，主要分为传输反射法和谐振腔体法。其中传射反射法 实质是利用所测出的样品的反射和传射系数得到复介电常数或复磁导率，根据所用 夹具的不同，又分为同轴