GaN用衬底材料LiGaO2晶体超精密抛光的初步试验-光学精密工程.PDFVIP

下载本文档

1
0
约6.48千字
约 6页
2018-02-28 发布于天津
举报
版权申诉

GaN用衬底材料LiGaO2晶体超精密抛光的初步试验-光学精密工程.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

GaN用衬底材料LiGaO2晶体超精密抛光的初步试验-光学精密工程

5 5 Vol. 5, No. 5 1997 10 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING October, 1997 GaN LiGaO2 谢　伦　　高宏刚　　陈　斌　　曹健林 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所, 应用光学国家重点验室, 长春130022) 王建明　　刘　琳 ( 中国科学院物理研究所, 北京1000 0) GaN LiGaO 2 SiO2 , , 0. 1 mm, : ; ; ; LiGaO2; SiO2 1 , , , ( GaN) ( ) = 3. 39 , Direct band gap Eg eV GaN , GaN GaAsAl2 O3 , 2 3 , 2 3 13% , Si MgO Al O Al O GaN [ 12] , 2 2 GaN LiGaO LiAlO Si ZnOGaN LiGaO2 GaN 0. 2%, . ( P kung MOCVD metalorganic chemical vapor ) , 700 - 2 , 2 3 deposition LiGaO GaN A l O GaN 300 -LiGaO2 GaN GaN M QW [ 3] 3. 44 eV, 1 0 meV : 1997 6 10 5 5 LiGaO2 , , , , , LiGaO2 , 2 LiGaO2 Czochralski 3 mm , 3000 rpm5000 rpm, 0. 01 mm, 0. 02 mm, 0. 5 10103 mm, W40W20W 10 , , Logitech PM4 , W7( 75 m) , 3 3. 1 : , ; , , [ 4] 2 , 2 1020 2 SiO SiO mm