MV_RR_CNJ_0010分析型扫描电子显微镜方法通则.PDFVIP

MV_RR_CNJ_0010 分析型扫描电子显微镜方法通则 1.分析型扫描电子显微镜方法通则的说明 编号 JY/T 010—1996 名称 (中文) 分析型扫描电子显微镜方法通则 (英文) General rules for analytical scanning electron microscopy 归口单位 国家教育委员会 起草单位 国家教育委员会 主要起草人 林承毅 万德锐 批准日期 1997 年 1 月 22 日 实施日期 1997 年 4 月 1 日 替代规程号 无 适用范围 本通则适用于各种类型的扫描电子显微镜和X射线能谱仪。 主要技术要求 1.定义 2.方法原理 3.仪器 4.样品 5.分析步骤 6.分析结果表述 是否分级 无 检定周期(年) 附录数目 无 出版单位 科学技术文献出版社 检定用标准物质 相关技术文件 备注 2. 分析型扫描电子显微镜方法通则的摘要 本通则适用于各种类型的扫描电子显微镜和X射线能谱仪。 2 定义 2.1 二次电子 secondary electron 在入射电子的作用下，从固体样品中出射的，能量小于50eV的电子，通常以SE表示。 2.2 背散射电子 backscattered electron 被固体样品中的原子反射回来的入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子， 通常以BSE表示。它又称为反射电子(Reflected Electron)，以RE表示。其中弹性背散射电子 完全改变了入射电子的运动方向，但基本上没有改变入射电子的能量；而非弹性背散射电子 不仅改变了入射电子的运动方向，在不同程度上还损失了部分能量。 2.3 放大倍数 magnification 扫描电镜的放大倍数是指其图像的线性放大倍数，以M表示。如果样品上长度为Ls直线 上的信息，在显像管上成像在L 长度上，则放大倍数为 c Lc M ＝－ － Ls 扫描电镜的有效放大倍数与电子束直径有关。如果样品上电子束编址的单位区域，即像 素，小于电子束直径，每次取样传送的信息包含一个以上的像素，前后传送的信息互相部分 重叠。这样的放大倍数称为虚伪放大倍数(Hollow Magnification) 。 2.4 分辨本领 resolving power 扫描电镜的分辨本领通常以二次电子图像分辨率来表示，它是在特定的情况下拍摄特定 样品(如碳喷金)的二次电子图像，在照片上测量能清楚分开的两个物点之间的最小距离，除 以放大倍数，作为扫描电镜的分辨率，以r表示。 X射线能谱仪的分辨本领，是对能量相近的两个峰的辨别能力，通常以5.89keV的MnK α峰的半高宽来表示，单位为电子伏特eV 。 2.5 特征 X 射线 characteristic X-rays 能量或波长确定的X射线称为特征X射线。各元素的原子受电子束或高能X射线的激发， 使处于较低能级的内壳层电子电离，整个原子呈不稳定的激发态，较高能级上的电子便自发 地跃迁到内壳层空位，同时释放出多余的能量，使原子回到基态，这部分能量可以以X射线 光子的形式释放出来。对任一原子而言，各个能级之间的能量差都是确定的。因此，各种原 子受激发而产生的X射线的能量或波长也都是确定的。 2.6 韧致辐射X射线 bremsstrahlung X-rays