PVD泵工作原理.PDFVIP

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2018-02-28 发布于天津
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PVD泵工作原理.PDF

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PVD泵工作原理

PVD泵知识 11 8, 2012 Copyright ©2012,ULVAC,Inc.All rights reserved Page 1 抽气时间计算公式 V 容器容积 P1 初期压力真空室 t= （L） ×2.303 log （pa） S 真空泵排气速度 P 最终压力（L/MIN） 2 （pa） t=t +t +t 1 2 3 主阀例：50升容积的容量，5分钟内从大气压减压至1000pa,应选哪种真空泵？ S= V 50 ×2.303 log P11.01 × 105 t 5 P 1000 2 S≈ 23 L/min 真空泵考虑到管道的连接与漏气等问题，实际选型时，要考虑到安全率 Copyright ©2012,ULVAC,Inc.All rights reserved Page 2 PVD系列概要 1.PVD-N180/PVD-N360 PVD-N180 PVD系列真空泵为双级真空泵，泵体小而坚固，极限压力低，运转时的振动、噪音小。另外，由于装有气镇阀，对水蒸气等冷凝性气体进行排气过程中发挥作用。 2.PVD-N180-1/PVD-N360-1 该型号真空泵采用大油箱，能降低泵的油温，减少油的氧化和劣化，延长油的使用寿命。 PVD-N360-1 Copyright ©2012,ULVAC,Inc.All rights reserved Page 3 PVD系列概要 3.性能参数型号 PVD-N180 PVD-N180-1 PVD-N360 PVD-N360-1 几何抽速 50Hz 9 （155） 19 （310 ） 3 m /h （L/min） 60Hz 11 （186） 22 （372 ）极限压力 GP 关 6.7 ×10-1 Pa GP开 13.3 所需功率 kW （极数） 0.4/ （4 ） 0.75/ （4 ） 50Hz