Si001衬底上闪锌矿ZnO的制备与分析-发光学报.PDFVIP

第３１卷　第２期 发　光　学　报 Ｖｏｌ３１ Ｎｏ２ ２０１０年４月 ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ Ａｐｒ．，２０１０ 文章编号：１０００７０３２（２０１０）０２０２０９０５ Ｓｉ（００１）衬底上闪锌矿 ＺｎＯ的制备与分析 詹华瀚，黄斌旺，吴雅苹，陈晓航，李书平，康俊勇 （厦门大学 福建省半导体材料与应用重点实验室 物理系及半导体光子学研究中心，福建 厦门　３６１００５） 摘要：采用分子束外延方法在室温下于Ｓｉ（００１）表面上生长ＺｎＯ材料。实验发现：样品为闪锌矿和六角结构 的ＺｎＯ混合多晶薄膜，其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构。在不同参数的高温 退火后，这些梯形台柱将变小，形成梯形纳米环，或分解为较小的纳米柱及其团簇结构等。分析表明：ＺｎＯ混 合多晶薄膜的形成，以及表面纳米台柱的演变，与Ｓｉ（００１）衬底、较低温的生长温度及热效应等因素相关联。 关　键　词：闪锌矿结构；氧化锌；分子束外延生长；硅（００１） 中图分类号：Ｏ４７２．１；Ｏ４８２．３１　　ＰＡＣＳ：６８．５５．ａ；７８．５５．Ｅｔ　　ＰＡＣＣ：７３６０Ｆ；７８５５Ｅ　　文献标识码：Ａ 最近，我们尝试室温下在 Ｓｉ（００１）衬底上外 １　引　　言 延ＺｎＯ薄膜，通过原位扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）观 氧化锌（ＺｎＯ）以其独特的物理特性和广阔的 测到一种梯形纳米结构及其在高温热退火后的演 应用前景引起人们的广泛关注和研究，近年来取 化，观测到梯形台柱和环状纳米结构。使用ＸＲＤ 得了较大的进展。理论计算分析表明，亚稳态的 分析表明，样品主要为闪锌矿结构并杂有六角的 闪锌矿结构ＺｎＯ相当稳定，在器件应用上可能在 ＺｎＯ晶粒。我们认为：闪锌矿结构 ＺｎＯ在 Ｓｉ 诸如共价性、低载流子散射、高掺杂效率等方面比 （００１）的形成和Ｓｉ衬底本身的立方结构、低温条 六角结构的ＺｎＯ更具优势，并可能有助于突破 件生长，以及高精度高可控的ＭＢＥ生长技术有 ＺｎＯ的ｐ型掺杂这一难点。因此，研究制备闪锌 关。本文介绍这些样品的制备，以及表面、结构和 矿结构ＺｎＯ成为ＺｎＯ基材料及应用中相当重要 光学特性分析，并简单讨论其生长机理。 ［１，２］ 的一个课题 。 ２　实　　验 相对于六角结构的ＺｎＯ，单晶的闪锌矿结构 ＺｎＯ更难获得，已经报道的闪锌矿ＺｎＯ的制备方 制备样品及 ＳＴＭ测量采用 ＯＭＩＣＲＯＮ公司 法包括以下几种：（１）在半绝缘的ＧａＡｓ（００１）上 的ＭＢＥ和扫描探针显微镜（ＳＰＭ）联合系统。系 ［２，３］ 用分子束外延（ＭＢＥ）生长 ；（２）在蓝宝石上 统中ＭＢＥ和ＳＰＭ两个即独立又关联的超高真空 ［４］ 热氧化闪锌矿的ＺｎＳ薄层 ；（３）采用Ｓｏｌｇｅｌ法 子系统由隔离阀分开，ＳＰＭ样品可以在两个系统 在Ｐｔ（１１１）／Ｔｉ／ＳｉＯ／Ｓｉ（１００）多层上制备ＺｎＯ薄 间相互传递。除了ＳＰＭ之外，联合系统的原位 ２ ［５］ 测试设备还包含 ＨｏｒｉｂａＪｏｂｉｎＹｖｏｎ的椭偏仪和 膜 。在上述三种方法中，都使用了闪锌矿的 ＺｎＳ作为成核或界面层。而在硅（００１）表面上， ＳＴＡＩＢ公司的高能电子衍射谱仪。 由于ＺｎＯ和Ｓｉ间存在着极大的晶格失配，直接在 放入生长室前，Ｓｉ（００１）衬底分别使用丙酮、 上面制备闪锌矿结构ＺｎＯ非常困难，