不同粒径核壳结构聚苯乙烯PSCeO2复合磨料的-中国有色金属学报.PDFVIP

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2018-02-28 发布于天津
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不同粒径核壳结构聚苯乙烯PSCeO2复合磨料的-中国有色金属学报.PDF

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不同粒径核壳结构聚苯乙烯PSCeO2复合磨料的-中国有色金属学报

第 21卷第 7 期中国有色金属学报 2011年 7 月 Vol.21 No.7 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Jul.2011 文章编号：10040609(2011)07177708 不同粒径核壳结构聚苯乙烯(PS)CeO 复合磨料的 2 制备、表征及其化学机械抛光性能 1 1, 2 1 陆锦霞 , 陈志刚 , 隆仁伟 (1. 常州大学材料科学与工程学院，常州 213164；2. 苏州科技学院化学与生物工程学院，苏州 215011) 摘要：以无皂乳液聚合法制备的不同粒径聚苯乙烯(Ploystrene, PS)微球为内核，以硝酸铈和六亚甲基四胺为原料，采用液相工艺制备具有核壳结构的 PSCeO 复合微球。利用 X 射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、 2 场发射扫描电镜(FESEM)、傅里叶转换红外光谱仪(FTIR)和热重分析仪(TGA)等对样品的成分、物相结构、形貌、粒径以及团聚情况进行表征。将所制备的PSCeO 复合微球作为磨料用于二氧化硅介质层的化学机械抛光，用原 2 子力显微镜(AFM)观察抛光表面的微观形貌，测量表面粗糙度。结果表明：所制备的 3 种 PS 微球呈单分散规则球形，粒径分别约为 120、170 和 240 nm；3 种 PSCeO 复合微球具有核壳结构，粒径分别约为 140、190 和 260 nm， 2 CeO 壳厚约为 10 nm。随着PSCeO 复合磨料粒径的减小，抛光表面粗糙度随之降低，经样品 F1抛光后表面在 2 2 10 μm×10 μm面积范围内粗糙度的平均值(R )及其均方根(R )分别为 0.372和 0.470 nm。 a ms 关键词：PSCeO 复合磨料；核壳结构；化学机械抛光 2 中图分类号：TN305.2 文献标志码：A Preparation, characterizationandperformance of coreshellPSCeO composite abrasiveswith different particle sizes