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激光位移传感器在自由曲面测量中的应用-光学精密工程.pdfVIP

激光位移传感器在自由曲面测量中的应用-光学精密工程.pdf

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    第卷第期光学精密工程年月文章编号激光位移传感器在自由曲面测量中的应用李兵孙彬陈磊魏翔西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室陕西西安摘要以点激光位移传感器为对象研究它在自由曲面测量中的应用针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差提出了一个可以量化的倾角误差模型基于直射式点激光三角法原理分析了激光光路的几何关系从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型随后用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验并用误差模型对测量结果进行补偿结果显示补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高对

    第 卷 第 期 光学精密工程 棽棾 暋 椃 暋 斨旓旍棶棽棾暋斘旓棶椃 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椀 椃 暋 暋

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