[理学]薄膜生长第05章.ppt

薄膜与表面物理 第五章 薄膜中的晶体缺陷 第五章 薄膜中的晶体缺陷 实际块状晶体不具有完整的点阵结构，而往往具有各式各样的缺陷。这些缺陷会对晶体性能造成影响，晶体缺陷是结构敏感性(由于结构完整性的差异而造成性质差异的现象称为结构敏感性)的物理根源。 第五章 薄膜中的晶体缺陷 另一方面，固体间的反应、烧结、扩散、相变等都涉及到原子的迁移、扩散，如晶体中没有缺陷，扩散就几乎不可能，上述过程将无法进行。因而从另一角度，我们又需要利用扩散现象。 第五章 薄膜中的晶体缺陷 对于缺陷的研究一方面可以帮助我们寻找排除缺陷的方法，从而提高材料的质量和性能的稳定性；另一方面又有助于我们理解高温过程的微观机制，帮助我们更好地利用缺陷。 第五章 薄膜中的晶体缺陷 严格地说，造成块状晶体点阵结构的周期势场畸变的一切因素，都可称为是晶体不完整性或晶体缺陷。按照晶体缺陷在空间延伸的线度，一般可分类为：点缺陷、线缺陷、面缺陷和体缺陷。 第五章 薄膜中的晶体缺陷 点缺陷：点缺陷三维都是原子尺度，包括空位、填隙原子、替代原子等。 在一定温度下，一部分原子获得足够的能量克服周围原子对它的束缚，挤入晶格原子的