ZnOGa透明导电氧化物薄膜的制备和研究演示课件文.pptVIP

ZnO:Ga透明导电氧化物薄膜的制备和研究 实验过程： 1.烧结靶材 2.沉积镀膜 3.性能检测 ZnO:Ga透明导电氧化物薄膜 的制备和研究 content 1.背景介绍 2.课题目标 4.实验过程 3.进程安排 5.参考文献 基础知识介绍及国内外研究背景 1.氧化物透明导电薄膜 透明：透光率T80%，能隙宽度大，自由电子要少 导电：电阻率~10-3 Ω·cm，自由电子要多 2.国内外的研究以及取得的成就 1907年Bakdeker第一个报道了CdO透明导电膜 20世纪50年代-----SnO2基薄膜和In2O3基薄膜 20世纪80年代-----ZnO基薄膜出现研究热潮 3.当前在该领域存在的瓶颈 TCO 平板显示、太阳能电池 新材料需要 本次课题研究的目的及目标 1.针对存在的问题，我们的研究有怎样的意义 GZO：资源丰富 透明导电性好 2.通过一年的实验，我们期望取得怎样的目标 制备出不同成份配比的GZO靶材； 获得GZO薄膜性能特点与制备工艺之间的变化规律； 找