硅微压阻式压力传感器.pdfVIP

一种硅微压阻式压力传感器的研究 机械设计与制造 Machinery Design Manufacture 刘珍妮 谭晓兰 杨峻松 北方工业大学 机电工程学院 北京 100144 [摘要]研究了一种量程为20Kpa 的压阻式微压力传感器，同时采用ANSYS 仿真得出影响传感 器性能的一些规律。应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片结构，并对圆 形膜片与方形膜片进行了比较，同时设计了硅芯片一级压敏电阻的尺寸和阻值。通过模型分 析和对方形硅膜片的模拟计算确定了压敏电阻最佳放置位置，来提高灵敏度；并在各个不同 的压力仿真出应力分布图、得出输入—输出关系图及应力峰值。研究为压阻式微压力传感器 的结构以及优化、稳健设计提供了一定参考。 关键词：为压力传感器；压敏电阻；弹性膜片；仿真 [abstract ]The pressure sensor of micro piezosistive with 20kpa full sc