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- 2018-02-28 发布于浙江
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[工学]3·5激光气化及打孔应用
Phase III Phase IV Phase III: After 30ns~150ns, the plasma disappeared and molten metal is existing on the surface of the material. Phase IV: The second pulse arrived. Pulse energy is absorbed by molten metal which became a new energy to drilling the hole. Water-jet laser drilling Principle of Water-jet laser drilling Trepanning laser pulse drilling 激光强度: 激光电场: 以波长为10.6?m的钕玻璃激光为例 假设激光强度: 如此大的电场足以从原子直接激发电子 实际上,由于靶物质中的杂质、晶格缺陷使得P远小于上述值时,产生自由电子,通过串级电离形成等离子体--几百至几千电子伏 激光电场 逆韧致吸收 逆韧致吸收Inverse Bremsstrahlung 碰撞吸收 Collisional Absorption 韧致吸收:一个带电粒子与另外一个粒子碰撞发射光被称作韧致辐射 逆韧致辐射:电子与离子或者电子相互碰撞时吸收光子。 设计:李波 设计:李波 项目实施后 积极推动我国激光产业技术进步 提升激光产业国际竞争力 提高区域经济总量和质量 支撑我国国民经济支柱产业的发展 结束语 设计:李波 设计:李波 激光与物质相互作用 任课老师: 秦应雄 讲 师 电 话/Email : qyx@hust.edu.cn Laser- Matter Interaction 本科课程 3.5 、激光打孔技术 1、激光打孔的物理机制 2、激光打孔的影响因素 3、激光打孔的特点与应用 4、激光打孔的新技术 思考: 1、如何打一个锥度非常小的小孔? 2、连续激光能不能打孔,为什么? 1、激光打孔的物理机制 金属材料被功率密度为106—109W/cm2的激光辐射时,因激光功率密度很高,会使材料表面的温度超过沸点而产生熔化或者汽化,并将表面被氧化的分裂混合物喷射出来。 在激光脉冲末尾,激光功率密度降低,分裂的喷射物减弱。随着分裂物的喷射,汽化以一定的速度向材料内部移动,材料被汽化去除,孔被逐渐加深,随着孔的直径和深度的增加,分裂物相继被蒸汽压去除,最后形成一个深孔。 Increasing of numbers of laser pulse 激光打孔分类 单脉冲 多脉冲 掩膜 轮廓迂回法 2、激光打孔的影响因素 (1)脉冲能量 (2)脉冲宽度 (3)脉冲波形 (4)激光模式 (5)聚焦条件(焦距,离焦量) (6)材料特性(物理特性、外形尺寸) (7)多脉冲打孔 (8)激光打孔的辅助工艺 (1)脉冲能量 Lm,Lv 分别为材料的熔化和汽化潜热。这时材料的去除质量即为πa02d’ρ. C: 比热容, Tb :熔点温度,T0:室温,E0:脉冲能量 忽略热传导和表面发射 一次气化深度 (2)脉冲宽度 脉宽的选择由孔的要求而定: 打深而小的孔,宜采用较长的脉冲 打大而浅的孔,宜采用较短的脉冲 高质量的孔,宜采用较短的脉冲 导热性差的材料,宜采用较短的脉冲 脉宽增大,较多的热作用于材料的非破坏性加热,使材料变形大,热应力大,易出现裂纹,一般采用0.3~0.7ms脉宽 1– 低脉冲能量和长脉冲时间 The pulse power density is lower 106W/cm2 and pulse duration is around ms~us. The heating, melting and evaporation are describing the whole process of the laser drilling. The thermal effects play the main role. 2– 高脉冲能量和短或超短脉冲时间 The pulse power density is higher 107W/cm2 and pulse duration span from approximately 100ps~100ns. Irrespective of the chemical, optical or thermo-physical properties of a large variety of materials including diamon
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