基于光栅的快速精确图像拼接-Read.PDFVIP

维普资讯 第 14卷 第 2期 光学 精密工程 VoL14 No．2 2006年 4月 OpticsandPrecisionEngineering Apr：2006 文章编号 1004—924X(2006)02—0242—05 基于光栅的快速精确图像拼接 陈世哲，胡涛，刘国栋，谢凯，刘炳国，浦昭邦 (哈尔滨工业大学 自动化测试与控制系，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要：为丁提高IC芯片视觉检测中图像拼接的速度和精度 ，提出一种基于精密光栅运动系统的快速精确图像拼接技术。 提出自标定技术解决了传统标定受标准件加工尺寸精度和光强影响的问题，提高了标定的准确度并降低了成本。在准 确标定基础上 ，建立 了基于光栅精确定位 的拼接模型。实验表明，该方法拼接精度高，拼接平均误差在 0．4 m 以内，2 为0．872m，达到亚像素级精度 ，而且拼接速度快，两幅图像拼接时间约为 10ms。 关 键 词 ：图像拼接 ；光栅 ；自标定 中图分类号：TP391 文献标识码 ：A Fastandprecision imagemosaicbasedon grating CHEN Shi—zhe。HU Tao，LIU Guodong，XIEKai，LIU Bing—guo，PU Zhaobang (DepartmentofAutomaticMeasurementandControl， HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：InordertoimprovethespeedandprecisionofimagemosaicforIC visioninspection，afast andaccurateimagemosaictechniquebasedon precisiongratingmeasurementsystem waspresented． Theself_ca¨brationmethodCaDsolvetheproblem ofconventionalcalibrationaffectedbythemanufac— turingprecisionofstandardunitandlightintensity，andcan increasethecalibrationaccuracyandde— creasethecost．Afteraccuratecalibration，theimagemosaicmodelbasedongratingprecisionlocation wasestablished．Theexperimentsdemonstratethatthissystem hashighimagemosaicprecision，av— erageerrorwithin0．4a1m ，and0．872 am in2a。whichisupto sub—pixelprecision；alsothesystem , hashighmosaicspeed，thetimeoftWOimagemosaicisabout10ms． Keywords：imagemosaic；grating；self—calibration PCB板、Ic芯片及其掩模板等进行 自动视觉检测 l 引 —口 系统中，由于受到高倍率显微镜头视场限制，通常 不可能一次成像得到试件的显微图像，需经过多 在工业、军事、医疗等技术领域的一些 自动视 次局部成像，再根据重叠信息进行拼