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基于ANSYS多晶硅锭凝固过程数值模拟

论文选摘 SNEC PhotovoltaicPowerGeneration 3rd(2009)International CD,咖fence Papers, 基于ANSYS多晶硅锭凝固过程数值模拟 Simulationof Solidif,ication NumericaI Poly—siliconlngot ProcessbasedOnANSYS 李进(教授),祖银芳LiJi(professor),ZuYinfang 摘要:由于多晶硅制备工艺试验难度大、周期长、费用高,有风险,数值模拟是一种廉价有效的方法,它对多晶硅生 产技术起到了越来越重要的指导作用。本文运用有限元软件模拟了多晶硅锭凝固过程。通过建模、网格剖分、求解计算, 得到了热导率和焓随时间变化图,凝固过程的温度云图。所得结果与实验结论基本相符。 关键字:多晶硅;定向凝固;数值模拟 cost isa Abstract:Becauseofthe and simulation bigtestingdifficulty,longcycles,expensivehigllrisk,numerical inexpensive toshorten and simulationmoreandmore effectivemethod reduce cost.numerical designcycles production played important instructionroletothe thisarticleweutilizedthefiniteelementsoftwaretosimulate poly—siliconproductiontechnology,.In poly-silicon solidification in the chartofheat directional half,solution process.Throughmodelling,gridcuaing computation,obtainedchange andthe withthe cloudchartofsolidificationnumericalsimulationresult time,the conductivityenthalpyalong temperature process.The andthe conclusion experiment tallybasically. simulation solidification,numerical Keywords:poly—silicon,directional 1引言 随着多晶硅在光伏市场中的需求迅猛增长,有关多晶硅的各项研究得到了相应发展,这也促进了数值模拟在多晶硅研究 生长的一些初步的结果;近年来刘力军【3—4】等围绕多晶硅锭生长建立了一套较为系统的计算模拟体系;文献15】应用软件对 多晶硅中的温度场与应力进行了研究;文献[6】用软件分

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