- 1、本文档共53页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
RENA培训学习
Rena设备培训
报告人:席累 2010.09.25
1.RENA清洗工序的目的:
�去除硅片表面的机械损伤层(来自硅棒切割的物理损伤)
�清除表面油污(利用HF)和金属杂质(利用HCl)
�形成起伏不平的绒面,增加对太阳光的吸收,增加PN结面
Isc
积,提高短路电流(Isc),最终提高电池光电转换效率。
IIsscc
2.设备构造
清洗工艺步骤: 制绒→碱洗 →酸洗→吹干
RENA Intex清洗设备的主体分为以下八个槽,此外还有滚轮、排风
RENA Intex
RREENNAA IInntteexx
系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。
Alkaline
Alkaline
AAllkkaalliinnee
Alkaline
Alkaline
Etch bath Dryer1 Rinse1 AAllkkaalliinnee
Etch bath Dryer1 Rinse1
EEttcchh bbaatthh DDrryyeerr11 RRiinnssee11
Etch bath Dryer1 Rinse1
Etch bath Dryer1 Rinse1
EEttcchh bbaatthh DDrryyeerr11 RRiinnssee11 Rinse
Rinse
RRiinnssee
Rinse
Rinse
RRiinnssee
Acidic
您可能关注的文档
- 病生名解2.doc
- 浅议临夏地区民营经济发展水平之差距及对策.doc
- 弹簧钢的技术发展及生产工艺现状.pdf
- 改错和短文听力课件.doc
- 17-查格雷斯冶炼厂为扩展业务采取新的经营策略.doc
- 西方 经济学第十四十五章.ppt
- 电建行业常用的进度管理 P3软件使用说明全集.doc
- 百年酵素科研史中成就了9位科学家获得.doc
- 美澳三科学家获诺贝尔物理奖 证实宇宙加速膨胀.doc
- 输出人民币能减少国内通胀.doc
- 2024年江西省高考政治试卷真题(含答案逐题解析).pdf
- 2025年四川省新高考八省适应性联考模拟演练(二)物理试卷(含答案详解).pdf
- 2025年四川省新高考八省适应性联考模拟演练(二)地理试卷(含答案详解).pdf
- 2024年内蒙通辽市中考化学试卷(含答案逐题解析).docx
- 2024年四川省攀枝花市中考化学试卷真题(含答案详解).docx
- (一模)长春市2025届高三质量监测(一)化学试卷(含答案).pdf
- 2024年安徽省高考政治试卷(含答案逐题解析).pdf
- (一模)长春市2025届高三质量监测(一)生物试卷(含答案).pdf
- 2024年湖南省高考政治试卷真题(含答案逐题解析).docx
- 2024年安徽省高考政治试卷(含答案逐题解析).docx
文档评论(0)