[工学]微传感器—清华教研室.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 微加速度传感器的结构设计主要有弹性结构设计和阻尼设计 弹性结构设计（决定弹性刚度）：影响加速度传感器的灵敏度、带宽、噪声等 阻尼设计：影响相位滞后，影响分辨率 悬臂梁 双端梁 微弹簧 》弹性结构设计 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》弹性结构设计 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》弹性结构设计 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》弹性结构设计 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》阻尼设计 压膜阻尼 滑膜阻尼 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》阻尼设计 加速度传感器的基本分辨率有质量块的布朗噪声等效加速度决定 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》平板电容加速度传感器 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》梳状叉指电容加速度传感器 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》梳状叉指电容加速度传感器 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》梳状叉指电容加速度传感器 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》隧穿加速度传感器 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》三轴加速度传感器 压阻三轴加速度传感器 7.2 典型微传感器 7.2.1 微加速度传感器 》三轴加速度传感器 电容三轴加速度传感器 7.2 典型微传感器 7.2.2微陀螺（角速度传感器） 》陀螺的原理 7.2 典型微传感器 7.2.2微陀螺（角速度传感器） 》陀螺的原理 7.2 典型微传感器 7.2.2微陀螺（角速度传感器） 》音叉式陀螺 单端音叉陀螺 双端音叉陀螺 7.2 典型微传感器 7.2.2微陀螺（角速度传感器） 》音叉式陀螺 *该音叉式陀螺如何检测角速度？ *该音叉式陀螺如何检测先行加速度？ 7.2 典型微传感器 7.2.2微陀螺（角速度传感器） 》音叉式陀螺 》谐振式陀螺 7.2.2微陀螺（角速度传感器） *该陀螺如何工作？ *画出该陀螺简化模型？ 》硅片溶解工艺制备的压力传感器 7.2.3微压力传感器 7.2.4 微麦克风 》电容式麦克风 7.2.4 热学量传感器 》微红外传感器 7.2.5 电学量传感器 》电流传感器 微电流传感器 7.2.6 生物传感器 》病毒检测传感器 * * * * * * * * 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 传统制造 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 微制造 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 微系统 微传感器 采用微细加工技术制备的传感器 微执行器 采用微细加工技术制备的执行器 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 汽车上的 传感器 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 肠道微视觉传感器 微型侦察机 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 小卫星 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 应用微系统可以使微小卫星的质量降至10kg以下。 小 卫 星 7.1 引言 7.1.1微传感器的产生 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.2 微传感器的敏感机理 》1. 压阻效应 压阻效应 半导体器件或其他材料在外力作用下电阻值发生改变的现象 微应变片（厚膜印刷） 由金属的几何形变引起 由于载流子迁移率的变化引起 半导体薄膜（半导体掺杂） 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.2 微传感器的敏感机理 》２电容式传感器 电容传感器的结构和敏感方式 第7章 微传感器 7.1 引言 7.1.2