矩形平面移动溅射靶的设计毕业论文课件.docVIP

毕业设计（论文）任务书 （201届） 设计（论文）题目 矩形平面移动溅射靶的设计 学院名称 机械与汽车工程学院 专 业 （班 级） 机械设班 姓 名 （学 号） 指 导 教 师 系（教研室）负责人 目 录 矩形平面移动溅射靶的设计 3 摘要 3 Abstract 4 1 绪论 5 1.1真空镀膜的意义 5 1.2真空镀膜技术在国内外的发展状况 5 1.3阴极靶的重要性 6 1.4课题的研究背景 7 1.5设计要解决的问题 7 2 设计方案的确定 7 2.1 真空镀膜中阴极靶的种类 7 2.1.1 矩形平面磁控溅射靶 8 2.1.2 同轴圆柱形磁控溅射镀膜 8 2.1.3 圆形平面磁控溅射靶 9 2.2 初步的几种设计思路 10 2.2.1方案一：圆形旋转靶 10 2.2.2 方案二：矩形移动靶 10 2.3 最后方案的确定 11 3 阴极靶的结构设计和尺寸计算 11 3.1 靶的结构 11 3.2 靶的尺寸计算