仪器设备作业标准8寸前段化学清洗蚀刻工作站文件制修订记录8寸.PDFVIP

文件編號 S3-NL05 DOCUMENT NO. 總 頁 數 共 20 頁 TOTAL PAGE 文件名稱 儀器設備作業標準 8吋 前段化學 清洗蝕刻工作站 TITLE 機台名稱： 8吋 前段化學 清洗蝕刻工作站 機台編號： CF-C10 制訂部門： 微影光罩組 制訂日期： 2014/07/10 文件 制 修 訂 記 錄 NO 發行日期 修訂申請書編號 制修訂內容 修訂頁次 版本 01 2014/07/10 制定初版 01 02 03 04 05 06 07 08 核 准 審 查 制 訂 DOCUMENT NO. ： TITLE ： 儀器設備作業標準 S3-NL05 8吋 前段化學清洗蝕刻工作站 ISSUE DATE 2014/07/ 10 REVISION 1.2 PAGE 第 1 / 25 頁 一、目 的：定義 8吋 前段化學清洗蝕刻工作站之操作規範，以確保操作 業品 質。 二、範 圍： 適用於 8吋 前段化學清洗製程及濕式蝕刻製程。 三、 權 責： 1. 組織權責：工程師負責制定及修改規範。 2. 執行人員資格：經過 8吋 前段化學清洗蝕刻工作站訓練及 考核通過之人員。 四、名詞定義：無 五、 相關文件： 無 六、標準作業程序： 1.設備使用前 /後之確認 1.1.作業前確認項目如下 ： a.本清洗蝕刻工作站，為前段製程專用 ；欲使用者務需確認，所持 之晶圓確為前段製程流程後， 方可進入本機台作業 ，以免造成設備污染。 b.機台狀況確認 ： 1設備. 運作 狀態，可由設備 端掛有之設備狀態顯示 牌示得知； 綠牌即為設備 正常運轉中；紅 牌 為設備維修中 。 2.檢查設備使用記錄表，確認先行使用者之設備 使用狀況 。 3確認. 自己是 本時段 之合法使用者 。（請檢閱NDL 對外服務系統內之設備預約狀態 ） 4.以 MES 系統開啟登入欲使用之化學槽。 5.如遇設備異常 ，請 通知設備負責 工程師 1.2.作業後確認項目如下 ： a詳實. 填寫使用記錄本。 b.以MES 系統關閉 登出所使用 之化學槽。 DOCUMENT NO. ： TITLE ：