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第20卷第1期-原子核物理评论
第 2O卷 第 1期 原 子 核 物 理 评 论 Vo1.2O。No.1
2003年 3月 NuclearPhysicsRenew Mar.,2003
文章编号:1007--4627(2003)01--0061--05
合金溅射轰击诱发的吉布斯偏析现象。
郑里平
(中国科学院上海原子核研究所,上海 201800;
中国科学院国际材料物理 中心,辽宁 沈阳 110016)
摘 要 :建立 了包括质量效应、键合效应和轰击诱发吉布斯偏析效应的蒙特卡罗模拟程序;并对轰
击诱发吉布斯偏析效应的两大特征(表面成分梯度特征和表面成分梯度 的中间性特征)进行了研究.
模拟解析了为何在被轰击合金表面形成了一个偏析元素的成分梯度;为何被轰击合金表面的成分
梯度、溅射角分布和溅射产额具有中间性特征.
关 键 词 :合金溅射;轰击诱发吉布斯偏析;MonteCarlo模拟
中图分类号:0485;0552.2;0562.5 文献标识码 :A
1 引言 2 合金溅射轰击诱发的吉布斯偏析现
众所周知,对于 同位素溅射 只考虑质量效 象
应Eh引,但是对于合金溅射既要考虑质量效应又要
2.I Au-Cu合金表面的Au成分梯度
考虑 键 合 效应 【]. 1982年,李 日升 等啪 和
Andersen等E胡同时首次发现低温时合金溅射轰击 实验高剂量Au-Cu合金表面成分分布显示[,
诱发的吉布斯偏析现象.这就突破了把表面成分和
表面Au(偏析元素)富集,也就是说表面Au成分大
溅射变化仅归因于质量效应和键合效应的传统观点
于基体Au成分;次表面Au贫乏,也就是说次表面
的束缚,为合金溅射理论研究开辟 了新的方向,也
Au成分小于基体Au成分.由于分辨率的限制,实
为核工业中发展 自我保护型防溅射材料提供了科学
验只能分辨两个原子层的Au成分,不能分辨一个
依据 ,并对二次离子质谱等表面分析技术的发展产
生了重要影响D--23]. 原子层 的 Au成分.为 了深入分析,我们借助于
实验研究有其局限性,需要借助于蒙特卡罗 MC模拟.MC模拟表明E],Au-Cu合金表面的Au
(MC)模拟.例如,李 日升和 Andersen的实验E ] 成分分布(原子百分比)中,表面第一原子层 Au富
仅考虑了高剂量离子(三三=1×10¨ions/cm2)轰击,因 集 (74 ),表面第二原子层Au贫乏 (37 )[153.
此不能深入研究合金表面成分分布和合金溅射角分 从文献[15]中看到,相对于基体 Au成分 (569,5)
布与剂量变化的关系.借助于MC模拟,可 以深入 来说,表面第一原子层与表面第二原子层 Au成分
研究这种关系.
之差(37 )是很大的.这里将 Au成分之差称作
轰击诱发吉布斯偏析有两大特征:(1)表面成
为表面 Au成分梯度.
分梯度特征;(2)表面成分梯度的中间性特征.从
作为 比较,仅按照质量效应和键合效应,我们
1990年到 1995年,我们建立了包括质量效应、键
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