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微细机械加工技术的应用研究 赵瑞营 天津大学机械学院机械工程专业2013级硕士生 摘要：微细加工技术是精密加工技术的一个分支，是加工多种微小尺寸零件的总称。是传统精密加工技术的延伸和半导体加工技术的进一步创新发展。微型机械加工传统加工方法的微型化，使用微型切削机床进行微小零件的机械加工，具有一些传统机械学理论难以解释的特点，对于加工条件和加工机床与刀具都有特殊的要求。 关键词：微细机械加工 微型切削机床 加工条件 机床与刀具 0 前言* 随着科学技术的发展,各类微小型光机电元件日益增高的需求逐渐成为一种趋势,它们在国防军工、生命医学、航空航天和微电子等高技术领域中的应用越来越广泛。这些需求不仅要求微小型光机电元件尺寸小、表面精度高,而且形状特征大都较为特异。在这种趋势下,微细加工技术逐渐受到学术界和工程界的关注1.1 微细机械加工的切削力 微细机械加工主要采用铣、钻和车三种形式，可加工平面、内腔、孔和外圆表面。在微细切削加工中，由于切削深度很小，切削常在晶粒中进行，所以其单位面积上的切削应力将急剧增大。例如，当在切削深度为100um的普通车削时，其切削应力只有500MPa；当切削深度为0.8um的微细切削时，切削应力增到约为10000MPa。由此可见，在微细切削时，切削刃上所承受的切削应力会急速地增加并变得很大，从而在切削刃的单位面积上产生极大的热量，使切削刃尖端处的温度极高，处于高温、高应力的工作状态。为此要求采用高温强度好、耐热性高、硬度高、耐磨性强的刀具材料，即超高强度材料，最常用的是金刚石、立方氮化硼等。 由于切削力能够清晰地反映切屑去除过程，因此对于切削特性的理解切削力是一个很重要的物理参数。在微切削时虽然切削力的幅值不大，但其单位切削力却极大。与常规切削时切削力随着背吃刀量的增加而增大不同，在微细切削时，切削力却随着背吃刀量的增加而减小，但在背吃刀量很小时，切削力将急速上升，这是一种典型的尺寸效应。 在微切削中，刀具刃口半径的微小变化将使切削变形产生很大变化，刃口半径增大将使切削变形明显加大。在背吃刀量≤0.8um时，造成的切削变形已占总切削变形的很大比例。因此在背吃刀量很小的超微细切削时，应特别注意采用刃口半径很小的锋锐刀具。欲获得高表面质量的超微细切削加工，必须对微切削时的切削力与切削能量进行分析与解释。 1.2 微细机械加工的切削温度 在微切削时，由于低的切削能量、金刚石刀具及工件的高导热性，同传统的切削加工相比，微细切削的温度是非常低的。但是由于加工尺度和刀具尺度的微小化，使得刀具上很小的温升就会导致刀杆的膨胀并引发加工精度的下降。在金刚石刀具的化学损伤中，温升是一个极为重要的因素，这是由于切削温度（温升）通常被认为是决定刀具磨损率的主要因素。而即使是刀具的微米级损伤（磨损），对于微切削表面的形成来说也是致命的。为此，在当前的微切削领域，迫切需要深入研究切削温度对金刚石刀具磨损的影响以及温升的合理控制这两个难题。 1.3 微细机械加工的切表面粗糙度 表面粗糙度的形成是由刀具的轮廓映射到工件上的结果。为此表面粗糙度决定了刀具与工件之间相对运动的可控制性及刀具轮廓映射到工件上的保真度。在很多实际的切削加工中，由于多种误差源造成的综合影响会产生数十纳米的表面粗糙度峰谷值的变化。而在微切削表面的形成过程中，即使纳米量级的相对振动也会非常敏感的受到影响，同样也受到切屑去除过程几何形态的影响。除了加工装置（机床）的运动误差，工件材料的性质（性能）也会严重影响到微切削加工表面的微观结构（表面粗糙度、表面的不完整性等）。对于硅、锗单晶体工件的加工，由于其晶向相对于切削力方面的改变也会引起表面局部区域的质量改变。 2 实现微细机械加工的主要条件 （1）被加工材料 在材料的微细切屑去除过程中，被加工材料的性能（如化学成分、物理和力学性能等）也是影响加工精度和表面粗糙度的重要因素之一。材料的选择是以纳米级的表面质量为前提的，可称之为“微加工性”，影响微加工性的因素有：材料与金刚石的内部亲和性（或化学反应）、晶体结构、杂质、缺陷及其分布和热处理等。为此，为了获得良好的加工精度和表面粗糙度，被加工材料必须是没有气泡、缺陷、晶粒细化无杂质的材料，加工后残余应力要小，能长期保持尺寸精度的稳定性。 （2）工件检测 精密测量与加工一样重要。对于微细工件的高精度尺寸、几何形状及位置尺寸等，可以用电感测微仪和激光干涉仪等来检测；表面形貌及表面粗糙度可用表面轮廓仪、隧道显微镜来测量。工件表面层的应力、变质层、微细裂纹等缺陷可以用光衍射法和激光干涉法检测。 （3）工艺过程编制 在微细切削加工中工艺过程编制应充分考虑如下问题：加工时要循序渐进、严格要求；正确选择定位基准，控制定位基准面的加工质量；严控夹紧变形及在加工中的变形；妥善