机台名称成功大学微奈米科技研究中心!!.docVIP

成功大學微奈米科技研究中心 儀器使用收費標準 公告日期：95年4月21日 儀器名稱 中心現行費率 備註 其他中心收費標準(針對學術單位) 電子束蒸鍍鍍機 Ebeam 開機費 1000元 + 10元/min 每借次使用費貴重金屬(Au、Pt)依使用克數單位計價。 Au：500元/克.Pt：1,000元/克 台大奈米機電系統研究中心: 90分鐘內1,040元;超過90鐘:1,040+12元/分 交大半導體中心: 開機費 2500元, 材料費(不含貴重金屬) 另計,貴重金屬自備 中區微機電系統中心: 1. 自備靶材：學界 4元/分(操作時間自破真空開始至試片取出, 並完成真空抽氣為止) 2. 由中區微機電提供靶材: 學界 4元/分 + 靶材費用 ?Ti 400元/KA ?Cu 200元/KA ?Ni 600元/KA ?Al 400元/KA ?Cr 250元/KA ?In 150元/KA 電子探針台 Prob station 開機費 100元/30 min 借探針收3,600元/次 無從比較 磁控濺鍍機 sputter 2000元/2hrs + 10元/min 台大奈米機電系統研究中心: 90分鐘內1,040元;超過90分鐘: 1,040+30元/分 交大半導體中心: 開機費3500元,材料費(不含貴重金屬) 另計,貴重金屬自備 中區微機電系統中心: