传感与感测技术PPT教案课件-第2章电阻应变传感器参考.ppt

传感器与检测技术 第2章电阻应变传感器 通过本章的学习，掌握金属应变式传感器的构成原理及特性，对电阻应变测量桥路的分析，掌握测量电桥的结构、形式、特点以及相关的测量计算。 第2章电阻应变传感器 2.1 电阻应变片 2.2 电阻应变传感器测量电路 2.3 电阻应变传感器的应用 基本概念 电阻应变传感器(Resistance strain sensor)是一种利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器。任何非电量只要能转化为应变量就可以利用电阻应变传感器测量，因而在非电量电测技术中应用十分广泛。其主要特点是： ●结构简单，使用方便，性能稳定、可靠； ●灵敏度高，频率响应特性好，适合于静态、动态测量； ●环境适应性好，应用领域广泛。 应变 物体受力产生变形的时候，体内各点处的变形程度往往并不相同。用于描述一点处变形的程度的力学量就是该点的应变。 即：应变是由载荷、温度、湿度等因素引起的物体局部的相对变形。 第一节:电阻应变片 2.1.1 金属电阻应变片 2.1.2 半导体电阻应变片 2.1.1 电阻应变片 1.金属的电阻应变效应 电阻的灵敏系数 电阻的灵敏系数 金属电阻的灵敏系数 2. 金属丝电阻应变片结构 敏感栅 直径为0.025mm左右的合金电阻丝 丝绕式 基 底 绝缘覆盖层 保护 金属丝式应变片 市面上电阻丝常用阻值为60Ω、120 Ω、200 Ω等规格，一般用120 Ω。栅长也有所不同，根据具体应用选择。 对电阻丝材料的要求： Ks要大（灵敏系数） 温度系数要小 电阻率要稳定 抗拉力、抗弯曲强度大 抗氧化、抗腐蚀性能好 3 金属丝电阻应变片基本特性 （一）横向效应 （二）机械滞后 （三）蠕变 （四）温飘 （一）横向效应 横向效应 应变片的横栅部分将纵向丝栅部分的电阻变化抵消了一部分，从而降低了整个电阻应变片的灵敏度，带来测量误差，其大小与敏感栅的构造及尺寸有关。敏感栅的纵栅愈窄、愈长，而横栅愈宽、愈短，则横向效应的影响愈小。 虽然受横向效应影响，但K在很大范围内还是具有线性关系的。 （二）机械滞后 在恒温下，应变片受力后，其内部会产生不可逆的残余变形，致使应变电阻在加载和卸载时，出现一定的差值，此差值称之为机械滞后(Hysteresis)，也将引起应变片灵敏系数下降。 主要原因： 加载和卸载时残余的应变没有 释放。 粘结剂固化不充分。 所以：要预先进行加载和卸载，以 减小其机械滞后。 （三）蠕变 应变片受恒定力作用时，应变电阻值随时间而变化，这是因为应力在粘胶层中传递时出现滑动现象，胶层越厚，滑动越严重，这种现象称之为蠕变，蠕变结果也将引起灵撤系数下降。因而在应变片制作及往弹性元件上粘贴时，不但要选用同型号优质粘结剂，而且粘结层要薄而均匀。 （四）温飘 应变片材料的电阻一般都受温度影响，温度变化引起应变片电阻值变化的 现象称之为温漂，这种由于物质内部热激发所引起的热输出，通常是导致灵敏度下降的主要因素，因而在应变测量中都要采取相应的温度补偿措施。 主要原因： 温度会导致应变片电阻丝ρ的变化 膨胀后会改变R。 4 金属箔式应变片 在绝缘基底上，将厚度为0.003～0.01mm电阻箔材，利用照相制板或光刻腐蚀的方法，制成适用于各种需要的形状 优点 ： （1）尺寸准确，线条均匀，适应不同的测量要求， （2）可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅 （3）与被测试件接触面积大，粘结性能好。散热条件好，允许电流大，灵敏度提高。 （4）蠕变、机械滞后小，疲劳寿命长。 （5）试件受力产生应变，通过基底传给应变面。由于箔状较薄，所以其应力与表面应力较接近，测量精度较高。 （6）比丝状应变片横向效应带来的误差小。 缺点： （1）电阻值的分散性大 阻值调整。 （2）引线是焊接点引出，而丝状是直接引出，所以箔状焊点容易受温度限制，不能过高。 （3）成本高。 5 金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻材料薄膜敏感栅，再加上保护层，易实现工业化批量生产 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大，工作范围广，易实现工业化生产 问题：难控制电阻与温度和时间的变化关系 2.1.2 半导体电阻应变片 半导体电阻应变片缺点 第二节 电阻应变传感器测量电路 2.2.1 基本原理 直流电桥 电桥输出表达式： 根据电桥的四个臂电阻是否