[高等教育]X射线光电子能谱的分析方法.pptVIP

电子能谱学第5讲X射线光电子能谱的分析方法 朱永法 清华大学化学系 2005.10.17 课程内容提要 前言 样品制备和预处理 离子束溅射技术 XPS定性分析 XPS定量分析 XPS价态分析 XPS深度剖析 XPS指纹峰分析 XPS小面积分析 XPS图像分析 前言 XPS样品的制备和前处理 XPS实验方法的种类和重要性 XPS分析方法的种类和重要性 XPS的信息来源及适用范围 样品的制备 X射线光电子能谱仪对待分析的样品有特殊的要求，在通常情况下只能对固体样品进行分析。 由于涉及到样品在超高真空中的传递和分析，待分析的样品一般都需要经过一定的预处理。 主要包括样品的大小，粉体样品的处理, 挥发性样品的处理，表面污染样品及带有微弱磁性的样品的处理。 样品的大小 在实验过程中样品必须通过传递杆，穿过超高真空隔离阀，送进样品分析室。因此，样品的尺寸必须符合一定的大小规范。 对于块体样品和薄膜样品，其长宽最好小于10mm, 高度小于5 mm。 对于体积较大的样品则必须通过适当方法制备成合适大小的样品。 但在制备过程中，必须考虑到处理过程可能会对表面成分和状态的影响。 粉体样品 粉体样品有两种制样方法，一种是用双面胶带直接把粉体固定在样品台上，另一种是把粉体样品压成薄片，然后再固定在样品台上。 前者的优点是制样方便，样品用量少，预抽到高真空的时间较短，缺点是可能会引进胶带的成分。在