[高等教育]磷扩散.pptVIP

用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上，保证平稳，缓缓推入扩散炉。 打开O2，等待石英管升温至设定温度。 打开小N2，以设定流量通小N2（携源）进行扩散 扩散结束后，关闭小N2和O2，将石英舟缓缓退至炉口，降温以后，用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，进行下一轮扩散。 如没有待扩散的硅片，将臂浆推入扩散炉，尽量缩短臂桨暴露在暴露在空气中的时间。 等待硅片冷却后，将硅片从石英舟上卸下并放置在硅片盒中，放入传递窗。 TCA清洗 炉温　　950℃ 时间　　30min 小N2　　0.3L/min O2　　　10L/min 炉温　　900℃ 时间　　30min 大N2　　18L/min 小N2　　2L/min O2　　　2.5L/min STP103E STP125E 炉温 875℃ 882℃ 源温 20℃ 20℃ 操作状态 进炉 回温 磷扩散 出炉 STP103E 3min 20min 40min 3min STP125E 3min 25min 40min 3min 流量（L/min) 大N2 大N2，O2 大N2，O2，小N2 大N2 STP103E 18 18 2.5 18 2.5 1.8 25 STP125E 18 18 2.5 18 2.5 1.8 25 在太阳电池扩散工艺中，扩散层薄层电阻是反映扩散层质量是否符合设计要求的重要工艺指标之一。