[工学]chap1+2 绪论及传感器一般特性.ppt

传 感 器 原 理 第 1 章 绪 论 传感器的定义及其作用 传感器的组成和分类 传感器的发展 一、传感器的定义 二、作用与地位 三、传感器的组成与分类 传感器的分类 按被测量分类： 力、位移、速度、加速度、压力、浓度、温度等 按测量原理（被调制量）分类： 变电阻、变磁阻、变电容、变谐振频率、变电荷等 按工作效应分类： 物理传感器、化学传感器、生物传感器。 四、传感器的发展基础 发展的动力： 1）原始需求：测量、显示、记录的发展。 举例：杆秤、电子秤； 2）信息需求（量大、准确、快速、可靠） 举例：航天飞机使用2000多个传感器；极限参数测量（如超高、低温等）。 发展基础：材料科学、微电子、计算机、机械加工等。 五、传感器的发展历程 早期以测量物理量为主的传感器，大都是利用机械结构的位移或变形来完成非电量到电量的变换，称为结构型传感器。 随着各种半导体材料和有机高分子功能材料的发展，研制出的以物理效应为基础的传感器称为物性传感器。 近年来，微电子技术和微处理机技术进入传感器领域后出现了智能传感器 六、传感器的发展趋势 传感器固态化、小型化 开发新材料:半导体敏感材料、陶瓷材料、磁性材料等。 采用新工艺：集成技术、微细加工技术、离子注入技术、薄膜技术 传感器的智能化 灵巧（Smart）传感器，具有：检测、修正、数据处理、逻辑判断、自诊断和自适应能力的集成一体化多功能传感器。 传感器的集成化和多功能化 将传感器与放大、运算以及温度补偿等环节一体化，组成一个器件。一个传感器可以同时测量多个参数。 本课程的特点、目的、内容 本课程是仪表与测试技术类专业的专业课之一。 以结构型传感器为主。 要求掌握几种常用传感器的工作原理、输入输出特性、误差补偿方法以及常见的应用。 仪器仪表学科属交叉学科，《传感器原理》涉及许多领域，知识面广。 目 录 第1章 绪论 第2章 传感器的一般特性 第3章 弹性敏感元件 第4章 应变式传感器 第5章 电容式传感器 第6章 变磁阻式传感器 第7章 磁电式传感器 第8章 压电式传感器 第9章 谐振式传感器 第10章 光纤传感器 第11章 磁敏传感器 第12章 热电式传感器 第13章 压阻式传感器 第14章 其他传感器 第15章 传感器高精化技术 主要参考书目文献 1、刘迎春 《传感器原理、设计与应用》 国防科技大学出版社 2、贾伯年、俞朴 《传感器技术》 东南大学出版社 3、强锡富 《传感器》 机械工业出版社 4、施文康 、余晓芬《检测技术》 机械工业出版社 5、期刊：传感器与微系统 6、期刊：传感技术学报 第 2 章 传感器的一般特性 2.1 传感器的静态特性 2.2 传感器的动态特性 2.3 传感器的标定 §2.1 静态特性 一、被测量（X）的两种形式： 静态量：被测量处于稳定状态或缓慢变化状态（准静态量)。 动态量：被测量随时间变化。周期、瞬变、随机信号。 无论对动态量或静态量，传感器输出都应当不失真地复现输入量及其变化。 二、传感器的输入输出特性 传感器的输入输出特性是其基本特性。 静态特性：传感器在静态工作状态即输入量是静态量时的输入输出特性。输出量是输入量的确定函数。 表示参数:静态性能指标。 动态特性：输入量是动态量时的输入输出特性。 反映传感器对输入量的响应特性。 表示参数:动态性能指标(时域和频域)。 三、静态特性的表示方法 代数多项式：如果不考虑传感器特性中的迟滞及蠕变等性质，或者传感器虽然有迟滞及蠕变等但仅考虑其理想的平均特性时，其特性方程在多数情况下可以写成如下的代数多项式形式： Y=a0+a1·x+a2·x2…+an·xn 静态特性的曲线表示法：曲线能表示出传感器特性的变化趋势以及何处有最大或最小的输出，传感器灵敏度何处高、何处低。当然，也能通过其特性曲线，粗略地判别出是线性或非线性传感器。 四、静态特性的求法—校准实验 所谓校准实验，就是在规定的试验条件下，给传感器加上标准的输入量而测出其相应的输出量。 静态标准条件： 标准大气压、20±5 oC、相对湿度＜85%、无振动、无冲击 在传感器的研制过程中，也可以通过其已知的各部件的静特性，采用图解法或解析法求出传感器可能具有的静态特性。 1、测量范围与量程 2、分辨力和阈值 3、灵敏度 4、迟滞 5、重复性 标准偏差的计算 ⑴用贝塞尔公式计算 ⑵用极差法计算： 6、线性度:传感器的输入输出校准曲线与所选定的参考直线之间的偏离程度。 ⑵、端基线性度 平移端基直线： 计算步骤： 求正、反行程平均校准曲线的测量点的算术平均值。 确定上下限，即端点（xmin ,ymin)与(xmax