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规格手册 L-9517-9410-03-A REXA超高精度绝对式圆光栅 REXA超高精度圆光栅具有 作为非接触式光栅，REXA具有 • 使用两个RESOLUTE™读数头， 零耦合损耗和优异的重复性，使 动态性能优势，消除了耦合损耗、振 可实现超高精度 其整体安装精度优于 角秒。 动误差、扭曲误差及其他影响封闭式 ±1 • 采用双读数头，安装精度可达±1 光栅的间隙误差。 与RESM光栅一样，REXA不锈 角秒 系统工作温度最高为 ， 钢圆栅也是在柱面上直接刻线，但 REXA +80 °C • 电子细分误差可低至±0.04角秒