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压电器件在微位移系统中的应用
第 卷第 期 压 电 与 声 光
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压电器件在微位移系统中的应用
赵 辉 浦昭邦 刘国栋 杨晓新
* * *
哈尔滨工业大学 自动化测试及控制系 哈尔滨
* (222)
摘 要 提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法 可在 内实现 的微动分辨力 该
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方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中 达到了满意的效果
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关键词 压电 微位移 测量 控制
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中图分类号! I3, 文献标识码!
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