压电器件在微位移系统中的应用.pdfVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 %% , 0%% 0, -./ 1. 年 月 %222 3 0%222 ;5:= ?:8@=;884;5:= ?AB CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC 文章编号!22,$%,D,%222)2,$2%,,$2% 压电器件在微位移系统中的应用 赵 辉 浦昭邦 刘国栋 杨晓新 * * * 哈尔滨工业大学 自动化测试及控制系 哈尔滨 * (222) 摘 要 提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法 可在 内实现 的微动分辨力 该 ! * 2 2G2 + EF EF 方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中 达到了满意的效果 * + 关键词 压电 微位移 测量 控制 ! H H H 中图分类号! I3, 文献标识码! ;1 ? [ JKLMNNOPQRSPTUTVWPLXTLOLQSYPQWRYSPUSKLZPQYT\P]NORQL^LUS_‘]SL^ * [ * [ * [ abMc bdPWe aKRTfRUghie jdT\TUgkMlj mPRTnPU 0 * * (222* ) opqr.s?Ar.FtruvwptxAypFpzrtz{:.zry./|ty}uz5zxrurArp.s;pv~z./.B! |ty}uz :~uzt ! $ Mf]SYRQS ? zp Fpr~.{s.yFuvy.{uxq/tvpFpzrx!xrpF }!Fptzxqup#.p/pvryuvqtyrtxqypxpzrp{uzr~uxqt$ qpytz{r~pypx./Aru.z. 202 $ 2 0 $py EF .sFuvy.{uxq/tvpFpzrtx.}rtuzp{uzr~pytzBp/.zBpyr~tz EF ;~ux $ 0 Fpr~.{txp//Axp{uzr~pA/rytqypvuxu.z{utFprpyFptxAyuzBx!xrpF .sxFt//tqpyrAyp ! H H $ H %L‘TY\]