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大规模集成电路工艺学 VLSI Technology 第七章 刻 蚀 王怡飞 集成电路与系统实验室 Laboratory of Integrated Circuits Systems, USTC 提纲 概述 刻蚀工艺 改进刻蚀工艺 g n i h c t E : y g o l o n h c e T I S L V 2 7 2 - 3 - 9 0 0 2 概述 g n i h c t E :