FIB聚焦离子束技术应用试验室.pdf

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FIB聚焦离子束技术应用试验室

FIB 1 FIB [] /labs/775/ 2017-09-18 23:42 FIB 2 Antpedia FIB 01058856684 1A107 010 35116 2415510297219 021 2418021033873 0755 551106 2418002542375 FIB 3 ()(Ion Beam)2006() ICIC IC IC FIB FIB 0.18 IC FIB IC IC FIB Lattice GearTM Cleaving TEMEXpressLOTM FIB 4 / IC FIB, ,FIB, FIB, FIB FIB IC FIB 5 FIBIC,, /ICdie,bond- pads,bond- wires,leadframe IC, (Probe- station) E-beam IC FIB 15 465 FIB200 FIB800 FIB830 FEI IC 4 - - SEM 2 - - OM 5 - - 1 - - FIB 6 IC FIB FIB 7

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