电浆浸没离子注入氮化法(PIIIN)於牙科挫针之切削率-先进工程学刊.PDFVIP

先進工程學刊第四卷 第二期 105 Journal of Advanced Engineering Vol. 4, No. 2, pp. 105-111 / April 2009 電漿浸沒離子注入氮化法 (PIIIN)於牙科挫針之切削率研究 The Research of Cutting Rate for Dental Drill Treated by Plasma Immersion Ion Implantation Nitriding (PIIIN) Process *1 2 3 4 5 魏進忠 張文信 蔡文發 林俊彬 楊萬騏 *1 2 3 4 5 Chin-Chung Wei , Wen-Hsin Chang , Wen-Fu Tsai , Chun-Pin Lin , Wan-Gye Yang 摘要 電漿浸沒離子注入 (PIII)氮化技術與傳統氮化技術比較具有節省時間、減少 變形與操作溫度較低等優點適合應用於牙科挫針之切削率提升研究。 PIII 實驗將 挫針分為對照組、氮化 1 小時與氮化 2 小時等三組，氮化條件控制在氮氣流量為 100 sccm 、氮化溫度25℃、偏壓 20 kV 與頻率 500 Hz 等條件。將改質完成的試片 透過機械性質量測、成分縱深分析與平均切削重量 (average removed mass) 量測 等方式，探討不同氮化時間對於挫針的改質硬度與切削率的影響。研究顯示經過 PIII氮化處理之挫針，機械性質明顯比未經過氮化處理之挫針增加，且由機械性 質分佈曲線可知硬度與楊氏模數增加區域約為 100 nm 左右。PIII氮化 2 小時的表 層氮濃度與硬度值之峰值、峰值位置與分佈範圍較 1 小時為大，顯示硬度曲線的 變化是受到氮原子縱深分佈的影響。牙科挫針的平均切削重量變化受到表面微刀 紋的影響，PIII氮化 1 小時可以增加表面微刀紋之硬度，增加挫削的效果，但是 2 小時的氮化則會因為熱軟化與電漿轟擊的作用而鈍化微刀紋，減少平均切削重量。 關鍵詞 ：電漿浸沒離子注入，硬度縱深分布，氮原子分佈，牙科挫針，切削率 Abstract Plasma immersion ion implantation nitriding (PIIIN) process has several advantages comparing with traditional nitriding method. They are short operation times, less heat deformation of product and low operating temperature, etc, and have potential for modifying the surfac