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电子级三氯氧磷高纯三氯氧磷集成电路（IC）生产和晶硅太阳能电池精细加工中PN结制作的掺杂剂，五价元素磷（P）扩散源。磷源有多种，气体源主要是磷烷PH3），固体源主要是五氧化二磷P2O5），液体源主要是三氯氧磷POCl3）。它的纯度对集成电路（IC）和多晶硅太阳能电池的成品率、电性能等都有着重要的影响因此对三氯氧磷产品中金属杂质有严格的要求。 光纤加工过程中信号传输性能改进剂，对金属杂质有严格要求外，对中有机烃氢也有严格的要求。在医药合成中，因医药对许多重金属杂质有严格要求电子级三氯氧磷作为氯离子的来源也得大量使用。理化性质：无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味有毒性和腐蚀性易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸遇到大量水时会发生爆炸熔点1.25，沸点102相对密度1.675蒸发热33.7kJ/mol接近300时，仍很稳定ppb) 检测 项目 技术指标(ppb) POCL3（6N） POCL3（7N） POCL3（6N） POCL3（7N） 威顿 天湖 威顿 天湖 威顿 天湖 威顿 天湖 Fe max 40 20 5 6.2 Hg max 10 5 5 0.1 Al max 40 30 5 5.8 Pb max 10 5 3 2.1 K max 30 20 3 3.3 Li max 10 6 6 1.4 Mn max 30 20 1 1.2 Na max 10 8 5 7.5 Ca max 30 20 5 8.9 Sr max 5 3 1 0.9 As max 30 25 6 2.4 Sn max 5 3 1 1.5 Ba max 20 15 1 1.4 Ti max 5 3 2 0.9 Co max 20 16 1 0.8 Zn max 5 3 1 2 Cu max 20 14 2 3.5 Nb max 2 1 1 0.1 Cr max 20 10 1 0.7 Cr max 1 1 1 0.6 Mg max 20 10 5 4.5 Ga max 1 1 1 0.1 Ni max 20 10 1 1 Cu max 1 1 1 0.2 Bi max 10 8 1 0.1 颗粒 ≥0.3μm 50max ≥0.3μm 50max 色度 5 5 四、市场应用现状 电子级三氯氧磷是IC和光伏产业中PN结制造的掺杂剂，由于其用量小，目前市场规模约在几亿元，但随着产业的发展壮大，尤其是光伏产业的迅猛发展，其市场规模将不断扩大。 目前，在电池片扩散制PN结过程中，三氯氧磷（6N）的用量为0.01～0.02 g/w，2010年全球电池片年产量在15GW左右，三氯氧磷的用量在150～300t，6N级三氯氧磷市场价格在600～1000元/公斤，市场规模在2亿元左右。 另外用于IC产业的三氯氧磷（7N），其价格在4000～5000元/公斤，随着IC产业的扩展，其市场也将不断扩大。 四、生产厂家 早期电子级三氯氧磷仅有德、日、美等国家的少数企业可以制备，直到2007年，国内才有厂家生产电子级三氯氧磷。通过几年的发展，国内使用的电子级三氯氧磷以国产为主，少量进口。 目前,国内主要有贵州威顿晶磷电子材料有限公司、湖北天湖化工有限公司、贵州精一科技有限公司等单位从事电子级三氯氧磷生产。具体情况如下： 1. 贵州威顿晶磷电子材料有限公司 成立于2005年9月，由威顿国际公司和威顿（中国）化工有限责任公司共同出资建立，是专业从事高端精细磷产品研发、生产与销售的国家高新技术企业。威顿晶磷主要生产电子级磷酸、电子级三氯氧磷、电子级红磷等电子级磷系列产品，服务于光伏和集成电路产业。随着液晶显示器行业、大规模集成电路行业以及光伏行业的迅猛发展，公司产品的生产和销售也随之增加，现公司产品在太阳能光伏行业的市场占有率已达到0%。 2.湖北天湖化工有限公司 创立于2005年8月，为省级高新技术企业。公司技术力量雄厚，特别是在黄磷深加工、半导体掺杂剂两个领域的产品开发、生产，具有一支丰富经验专业技术队伍，现已形成集研究、开发、生产、检测、销售于一体的专业化公司，其主导产品元仑牌次磷酸钠、次磷酸、四羟甲基硫 酸磷、电子级三氯氧磷、电子级三溴化硼和电子级磷酸等公司于2006，利用贵州省丰富的磷资源，进行磷及磷化物的深入化、精细化、高纯化研发与生产，和国内多所高校及科研单位长期合作，已掌握该领域多项核心技术，并已向国家知识产权局申报有四项发明专利。公司25吨/年高纯三氯氧磷项目已得到“国家履行禁止化学武器公约工作办公室”的批复产品经检测已达到6N级。