半导体物理研究的回顾与展望.pdfVIP

自然杂志26卷6期 专题综述 半导体物理研究的回顾与展望 X．W．Zhaoe 彭英才① 傅广生③ ①教授，河北大学电子信息工程学院，保定071002 of of ②DepartmentPhysics，TokyoUniVersityScience，TokyoJapan ③教授，河北大学物理科学与技术学院，保定071002 关键词 半导体物理新材料新结构 新效应 内在联系与规律 半导体物理是凝聚态物理领域中的一个活跃分支。也是半导体科学技术发展的重要物理基础．半个多世纪以来， 半导体物理自身不仅在晶态半导体、非晶态半导体、半导体表面、半导体超晶格、纳米半导体和有机半导体等领域中 都获得了令世人瞩目的重大进展，而且它还是一系列新材料、新结构、新效应、新器件和新工艺产生的源泉，极大地丰 富了凝聚态物理的研究内容和有力地促进了半导体科学技术的迅速发展．温故而知新．今天，我们重新认识它的发展 规律与特点，对于把握半导体物理在21世纪的发展走向具有直接的现实指导意义． 一、月U爵一、前言 二、半导体物理“ff,J发展特点与沿革及展-何恩司，口旱 一、干哥’除例瑾 方向 半导体物理是固体物理的一个主要组成部分和凝 聚态物理的一个活跃分支，同时也是发展半导体科学技 1．半导体物理的发展序幕一晶态半导体物理 术的重要物理基础．回顾50多年来半导体物理的发展 历程，我们可以清楚地看到，伴随着每一种新材料的出 如果将半导体物理的发展比喻为一台威武雄壮的 现，都必然会引起人们对其从理论和实验上进行深入、 话剧，那么开场剧目则是关于具有完整周期结构的晶态 细致和系统的研究．如果说，上世纪50～60年代，以固半导体的研究．而作为这一研究的两大理论基石则是于 体能带理论、品格动力学理论、金属一半导体接触理论、 20世纪30年代创建的固体能带理论和50年代初期建 P—n结理论和隧道效应理论为主的晶态半导体物理代 立的晶格动力学理论．众所周知，1947年晶体管的发明 表了这一时期研究的主导方向，那么随着半导体超晶格 就是建立在以量子力学体系为基础的固体能带理论上 的产生，半导体表面研究的兴起和非晶态材料的出现， 的．可以说，固态电子理论的建立，不仅使人们能够成功 70～80年代则是半导体超晶格物理、半导体表面物理和地用导带、价带和禁带的概念将金属、半导体和绝缘体 非晶态半导体物理三足鼎立的发展格局．而进入90年 分开，从而对晶态半导体结构的认识有了一个新的飞 代以后，随着多孔硅、C6。以及碳纳米管、纳米团簇、量子 跃，而且还使我们能够深刻理解、牢固掌握和灵活运用 线与量子点微结构的兴起，纳米半导体物理的研究开始 半导体的各种物性与本质，并为设计和制备各种半导体 崭露头角，且日渐深化．进入21世纪的今天，以GaN为器件及其集成电路奠定了重要物理基础口]． 主的所谓第三代半导体、有机聚合物半导体、光子带隙 如果说固体能带理论是在状态空间中描述电子的 晶体以及自旋电子学的研究，又把半导体物理研究带入 分布特点与能量状态，那么品格动力学理论则是在实空 了一个新的发展时期． 间中，从原子微观振动的概念出发，深刻揭示晶格原子 半导体物理的发展存在着自身的内在规律与特点， 之间的相互作用，即晶体在温度场中的行为和规律的理 需要我们去很好地认识与发掘．本文将简要回顾半个多 论．它在解释一系列晶体，当然也包括晶态半导体的热 世纪以来，半导体物理在晶态半导体、非晶态半导体、半 学性质、力学性质、弹性性质、介电性质和光学性质等方 导体表面与界面、半导体超晶格与量子阱、纳米半导体 面都获得了巨大成功．由玻恩与黄昆二