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单片测试系统 概述 单片测试系统主要用于对模拟、射频集成电路裸片或已封装芯片的电磁参数 测量。系统利用平台软件控制各种测量仪器，实现宽频带范围内芯片参数测 量，可构建完整的单片设计、实验、测试和验证平台。系统可对芯片的功率、 增益、交调失真、相位噪声、时域特性等参数进行自动化测试，并对测试结 果进行详细分析。 系统对裸片、晶圆采用探针台与探针夹具进行测试，封装后的单片采用专用 封装测试夹具套件测试，且在测试前，对系统通道及探针夹具进行校准，减 少测量误差。系统使用开关矩阵一次性连接所有设备，利用计算机控制开关 实现信号切换，减少探针与芯片接触，防止因探针与芯片多次接触，在芯片 上留下触点，降低芯片损坏的可能。 功能及特点  系统可在连续波激励或脉冲激励下，完成器件的 S 参数和X 参数测量、 提取与建模  系统可提取器件的线性和非线性参数，结合仿真建模软件，提供器件参数 仿真和半实物仿真功能  系统提供定制化的集成软件，并提供开放接口，支持与SystemVue、ADS 等软件联合仿真以及数据的导出功能  系统具有信号产生功能  系统具有信号频谱分析和表征能力  系统提供时域特性分析能力  系统具有噪声系数分析功能  具有相位噪声分析功能  系统采用封装测试套件和探针测试台，实现芯片裸片或已封装芯片的测量 1 主要指标  频率范围10MHz~40GHz  可产生连续波信号、脉冲信号以及各种模拟调制信号，信号输出的最大功 率达到18dBm  信号分析带宽160MHz，可显示噪声电平（DANL ）为 -143dBc/Hz （1GHz 时）  系统可对各种射频芯片的S 参数进行测试，测试的动态范围达到 105dB， 可测试的参数包括：端口驻波、增益/插入损耗、时延、交调失真、增益压 缩特性等  系统可完成频率源芯片相位噪声、调幅噪声、电源基带噪声以及VCO 调 谐特性测试，可测试的频率范围是10MHz~50GHz，系统可实现的相位噪 声测试灵敏度，在载波频率为 100MHz 时可以达到≤-147dBc/Hz@1kHz； 以及≤-156 dBc/Hz@10kHz  系统进行信号时域分析时，可满足测试的模拟带宽8GHz，并提供10bit 的 垂直分辨率和400MSa 的存储深度 系统组成 单片测试系统由矢量网络分析仪、信号分析仪、信号源分析仪、示波器、直 流电源、模拟信号源、探针测试台、专用封装测试套件、开关矩阵等组成， 其组成如图所示。 2 系统集成软件 控制计算机 直流电源 信号分析仪 N9030A 矢量网络分析仪