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含纳米粒子溶液对单晶硅表面的冲蚀磨损损伤试验研究.pdfVIP

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  • 2018-08-18 发布于天津
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含纳米粒子溶液对单晶硅表面的冲蚀磨损损伤试验研究.pdf

    含纳米粒子溶液对单晶硅表面的冲蚀磨损损伤试验研究

    第 26 卷　第 1 期 摩 擦 学 学 报 26, 　 1 V o l N o 2006 年 1 月 TR IBOL O GY J an , 2006 含纳米粒子溶液对单晶硅表面的 冲蚀磨损损伤实验研究 徐　进, 雒建斌 (清华大学 摩擦学国家重点实验室, 北京　100084) 摘要: 利用高分辨透射电子显微镜和原子力显微镜观察了含纳米颗粒溶液冲蚀硅片表

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