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第3章电容式传感器 第3章 电容式传感器 第一节 电容及结构 一、电容 1、导体的电容 2、电容器的电容 （1）平板电容器 ■ 介电常数εr （2）球形电容器 （3）柱形电容器 （4）平行直导线形电容器 二、结构 三、电容式传感器工作原理 1、变极距型电容传感器 （1）变极距型电容传感器的初始电容 C0 （2）变极距电容传感器电容量的变化ΔC （3）电容相对变化ΔC/C0与极板间距相对变化Δδ/δ0的关系 （4）灵敏度 K （5）非线性误差ef （6）实际上电容器均采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质 （7）变极距型差动式电容器 2、变面积型电容传感器 3、变介质型电容传感器 第二节 应用中存在的问题及改进的措施 一、等效电路 二、边缘效应（1）电容传感器边缘效应 （2）边缘效应电容的计算 （3）消除边缘效应 三、静电引力 （3）电容传感器静电引力的计算 四、寄生电容 2、寄生电容的危害 （1）等电位法 ③ 等电位屏蔽法的实现—驱动电缆技术 （2）组合集成技术 五、温度影响 1、温度对结构尺寸的影响 2、温度对电解质介质的影响 第三节 电容传感器的测量电路 1、调频电路 2、运算放大器电路 3、二极管双T形交流电桥 4、环形二极管充放电法 第四节 电容传感器的应用 一、电容式位移传感器 二、电容式加速度传感器 三、电容式力和压力传感器 （2）电容式压力传感器 四、电容式物位传感器 （1）电容式液位传感器 五、涡街流量计 涡街频率的测量方法 涡街流量计（E+H公司产品） 作 业 5 作 业 6 该驱动电缆放大器无任何附加电容 因此适用于Cx很小情况下的检测电路 ● ● -A U ● ○ C0 Cx U∑ U01 驱动电缆线路原理图 -Aa ● U02 放大器（输入端）与电容Cx不存在直接的电气连接，故放大器电气性能对电容Cx的影响不大。 电路的特点： 采用超小型大规模集成电路，将全部测量电路组合在传感器壳体内； 更进一步就是利用集成工艺，将传感器与处理电路集成于同一个芯片内，采用元件封装方法，构成集成电容式传感器。 这是消除寄生电容、静电干扰和电磁波干扰的好方法。 但就目前技术，电容器件很难集成在集成电路中。 环境温度的变化将使电容传感器内 ◇零件的几何尺寸发生变化 ◇极距相对位置发生变化 ◇介质的介电常数发生变化 从而改变传感器的电容量、改变传感器输出相对被测输入量的单值函数关系，产生温度误差。 电容传感器由于极间间隙很小，对结构尺寸的变化特别敏感。在传感器各零件材料线膨胀系数不同的情况下，温度变化将导致极间间隙有较大的相对变化，从而产生很大的温度误差。 以变极距电容传感器为例，如下图所示。 图中： g0 定极板厚度 b0 绝缘材料厚度 α0 动极板至绝缘底部壳体的距离 δ0 动极板与定极板的初始距离 δ0 b0 g0 α0 电容式传感器的温度误差 温度为t0时，极板间间隙为δ0： δ0 b0 g0 α0 电容式传感器的温度误差 当温度由 t0 变化Δt 后，各段尺寸均要膨胀，使极板间间隙变为δt： αa、αb、αg 为各零件材料的线膨胀系数 由此引起的温度误差为： （式3-28） 由上述推导的式（3-28）可知，欲消除温度影响，其条件为： 温度误差与零件的尺寸、热膨胀系数有关 应减少尺寸链的组成环节 选用热膨胀系数小、几何尺寸稳定的材料如：石英、陶瓷、玻璃、镍铁合金等。其中尤以绝缘套材料为最重要。 结论： （式3-28） α0αa - b0αb - g0αg= 0 温度对介电常数的影响随介质不同而异， 空气及云母的介电常数温度系数近似为零； 而某些液体介质，如：硅油、煤油等，介电常数的温度系数较大。 例如： 煤油的介电常数的温度系数为 0.07%/℃ 若环境温度变化±50℃ 则介电常数将产生7%的温度误差 用此类介质时，必须注意温度变化造成的误差 第三节 电容传感器的测量电路 一、调频电路 二、运算放大器电路 三、二极管双T形交流电桥 四、环形二极管充放电法 测量电路是将电容量转换成电信号（频率 f 、电压 U、电流 I） 常用的电容转换电路有： ●调频电路 ●运算放大器电路 ●二极管双T形交流电桥 ●环形二极管充放电法等 调频式测量电路原理框图如下图所示。 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分, 当被测量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。△f = f（C）。 鉴频器 限幅放大器 振荡器 C L 电容变换器 Δf Δu Δf Δu 调频式测量电路原理框图 虽然可将频率作为测量系统