等离子体技术(简）.ppt

第五讲 等离子体技术 　　从本质上讲，氢弹是利用惯性力将高温等离子体进行动力学约束，简称惯性约束。多年来，人们做了各种探索力图实现人工控制的方法实现惯性约束。激光惯性约束是其中一个方案：在一个直径为400的小球内充以30～100大气压的氘—氚混合气体，让高功率激光束（1014～1016 W/cm2）均匀地从四面八方照射小球，其外层被加热，发生膨胀，挤压内层材料，使球内氘氚混合体的密度达到液体的一千到一万倍，温度达到108K而引起聚变反应。 3、磁约束式受控聚变反应器 　磁约束就是利用磁场来约束等离子体中带电的离子和电子。带电粒子在磁场中要受到洛伦兹力的作用而绕着磁力线做螺旋线运动，带电粒子的回旋半径与磁场强度或反比，当磁场足够强时，粒子的回旋半径很小，好像是被粘在磁力线上沿磁力线运动，这样等离子体在垂直磁场的方向就被约束住了。 　　从电磁学中知道，两条平均同向的电流由于磁场作用而互相吸引，当等离子体中有电流通过时，可把它看成是由很多条很细的同向电流组合而成，它们之间互相吸引就会向中心收缩，这种力称为箍缩力，当等离子体电流和磁场方向相同时，箍缩力也是和磁场方向垂直的。 　　图18-5a是托卡马克（Tokamak）装置示意图。它的主体是一个环形真空室，其中充有氘气或氘氚混合气，并先使其电离形成等离子体，真空室的外面绕有线圈，通电时就会产生几特斯拉的沿环形轴线方向的磁场（称环向场），使等离子体受到约束。环形真空室套在一个变压器的铁心上构成变压器的次级线圈（只有一匝），环形等离子体电流就是变压器的次级电流。当变压器的初级线圈输入脉冲电流时，就会在真空室的等离子体里感应产生一个环形大电流。由于等离子体总有一定电阻，这一感应电流就对等离子体加热（叫欧姆加热），使它的温度升高，而电流产生的箍缩力则使等离子体向环形轴线压缩而与管壁脱离接触。除此之外，这一电流还产生一个环绕本身的圈向磁场（见图18-5b），和环向磁场的组合就形成了螺旋形的磁场，这时等离子体既起约束作用，又起稳定作用，使等离子体约束在环形管中产生聚变产生 　　几十年来，可控热核反应的研究已获得很大进展。1991年11月在英国牛津附近的一个实验室里首次实现了可控热核反应。实验技术人员用15000kW电能点火，使反应堆内温度高达108℃，反应仅持续了1～2秒，产生的电能不到2000kW,。有人估计，第一台有经济的可控聚变反应堆可望在本世纪的20年代出现。 六、低温等离子体的应用 ????低温等离子体物理与技术经历了一个由60年代初的空间等离子体研究向80年代和90年代以材料为导向研究领域的大转变，高速发展的微电子科学、环境科学、能源与材料科学等，为低温等离子体科学发展带来了新的机遇和挑战。???? 现在,低温等离子体物理与应用对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。例如，1995年全球微电子工业的销售额达1400亿美元，而三分之一微电子器件设备采用等离子体技术。塑料包装材料百分之九十都要经过低温等离子体的表面处理和改性。据估计，低温等离子体技术在半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、等离子体电子学、等离子体合成、等离子体冶金、等离子体煤化工、等离子体三废处理等领域的潜在市场每年将达一千几百亿美元。 ●半导体集成电路及其它微电子设备的制造●工具、模具及工程金属的硬化 ●药品的生物相溶性包装材料的制备●表面防蚀及其它薄层的沉积●特殊陶瓷（包括超导材料）●新的化学物质及材料的制造●金属的提炼●聚合物薄膜的印刷和制备●有害废物的处理●焊接●磁记录材料和光学波导材料●精细加工 ●照明及显示●电子电路及等离子体二极管开关●等离子体化工(氢等离子体裂解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体裂解重烃、等离子体制炭黑、等离子体制电石等)对上述某些部分领域的目前潜在市场估计：●半导体工业约为260亿美元●等离子体电子学约为400亿美元●工具及模具硬化约为20亿美元●作记录和医用聚合物薄膜领域约为几十亿美元的市场对一些新的有活力的市场估计：●金属腐蚀防护约为500亿美元●优质陶瓷约为50亿美元● 在废物处理、金属提练、包装材料及制药业中的应用约为几十亿美元市场。 　　低温等离子体物理与应用是一个具有全球性影响的重要的科学与工程，对全世界的高科技工业发展及许多传统工业的改造都有着直接的影响，二十一世纪初等离子体辅助加工会产生重要的突破，而这些突破对高科技产业的保护及提高其在市场中的地位将是极为重要的，例如近十年来，低温等离子体的物理研究和技术应用在很多方面有了突破性的进展，最有代表性的是微电子工业等离子体的应用。1995年的微电子工业的全球销售额已达1400亿美元，其中三分之一的微电子器件的设备是采取等离子体技术。以奔腾芯片为代表的半导体