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第七章 微米、纳米技术 哈尔滨职业技术学院 学习目标： 通过本章的学习了解微米、纳米技术的概念，侧重对纳米技术的意义的理解，知悉纳米材料的性质，了解纳米技术的应用。 第一节 微米技术 微米技术是指在微米级（0.1-100微米）的材料上设计、制造、测量、控制和应用的技术。目前，微米技术的研究与应用涉及以下几个方面： 1.微小尺度的设计应用 研究微型系统的设计需要形成一整套新的设计理论方法，例如：微动力学、微流体力学、微热力学、微机械学、激光学等。以便解决微型系统设计中的尺寸效应、表面效应、误差效应及材料性能的影响。 第七章 微米、纳米技术 2.微加工技术 微加工技术包含超精机械加工、IC工艺、化学腐蚀、能量束加工等诸多方法。在微细加工甚至纳米加工领域，较为成熟的技术是IC工艺硅加工技术、离子束加工、分子束加工、激光束加工以及电化学加工、精密电火花加工等。 3.精密测量技术 精密测量技术是具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术。目前精密测试技术的一个重要研究对象是微结构的力学性能，如谐振频率、弹性模量、残余应力的测试和微结构的表面形貌及内部结构，如微体缺陷、微裂缝、微沉积微的测试等。 第七章 微米、纳米技术 第七章 微米、纳米技术 一、概念 1.纳米 纳米（符号为nm）是长度单位，原称毫微米，就是10^-9米（10亿分之一米），即10^-6毫米（100万分之一毫米）。如同厘米、分米和米一样，是长度的度量单位。相当于4倍原子大小，比单个细菌的长度还要小。 第二节 纳米技术 第七章 微米、纳米技术 2.纳米技术的概念提出 纳米技术的灵感，来自于已故物理学家理查德·费曼1959年所作的一次题为《在底部还有很大空间》的演讲。这位当时在加州理工大学任教的教授向同事们提出了一个新的想法。 从石器时代开始，人类从磨尖箭头到光刻芯片的所有技术，都与一次性地削去或者融合数以亿计的原子以便把物质做成有用的形态有关。费曼质问道，为什么我们不可以从另外一个角度出发，从单个的分子甚至原子开始进行组装，以达到我们的要求？他说：“至少依我看来，物理学的规律不排除一个原子一个原子地制造物品的可能性。” 第七章 微米、纳米技术 3.纳米技术 纳米技术(nanotechnology），也称毫微技术，是研究结构尺寸在1纳米至100纳米范围内材料的性质和应用的一种技术。一般包括纳米级(0.1一100nm)的材料、设计、制造，测量、控制和产品的技术。 1981年扫描隧道显微镜发明后，诞生了一门以0.1到100纳米长度为研究分子世界，它的最终目标是直接以原子或分子来构造具有特定功能的产品。因此，纳米技术其实就是一种用单个原子、分子射程物质的技术。 第二种概念把纳米技术定位为微加工技术的极限。也就是通过纳米精度的加工来人工形成纳米大小的结构的技术。这种纳米级的加工技术，也使半导体微型化即将达到极限。现有技术即使发展下去，从理论上讲终将会达到限度，这是因为，如果把电路的线幅逐渐变小，将使构成电路的绝缘膜变得极薄，这样将破坏绝缘效果。此外，还有发热和晃动等问题。 为了解决这些问题，研究人员正在研究新型的纳米技术。 第三种概念是从生物的角度出发而提出的。本来，生物在细胞和生物膜内就存在纳米级的结构。 DNA分子计算机、细胞生物计算机的开发，成为纳米生物技术的重要内容。 1993年，第一届国际纳米技术大会(INTC)在美国召开，将纳米技术划分为6大分支：纳米物理学、纳米生物学、纳米化学、纳米电子学、纳米加工技术和纳米计量学，促进了纳米技术的发展。 4.纳米技术的研究应用 当前纳米技术的研究和应用主要在材料和制备、微电子和计算机技术、医学与健康、航天和航空、环境和能源、生物技术和农产品等方面。 用纳米材料制作的器材重量更轻、硬度更强、寿命更长、维修费更低、设计更方便。利用纳米材料还可以制作出特定性质的材料或自然界不存在的材料，制作出生物材料和仿生材料。 第七章 微米、纳米技术 1)纳米是一种几何尺寸的度量单位，1纳米=百万分之一毫米。 2)纳米技术带动了技术革命。 3)利用纳米技术制作的药物可以阻断毛细血管，“饿死”癌细胞。 4)如果在卫星上用纳米集成器件，卫星将更小，更容易发射。 第七章 微米、纳米技术 5)纳米技术是多科学综合，有些目标需要长时间的努力才会实现。 6)纳米技术和信息科学技术、生命科学技术是当前的科学发展主流，它们的发展将使人类社会、生存环境和科学技术本身变得更