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SEBG-103B 电子枪说明书
南京涉谷电子束技术有限公司
2010 年 6 月
南京涉谷电子束技术有限公司
操作手册和日常保养维护
─目录─
第一章 电子枪概述及性能指标 3
1-1. 电子枪概述 3
1-2. 电子枪的特征及性能指标。 3
1-3. 电子枪的剖视图。 4
第二章 安全 7
2-1 高压 7
2-2 X 射线辐射 8
2-3 发射器的维护保养 8
第三章 电子枪的安装 9
3-1 电子枪的安装 9
3-2 电子枪的安装过程 10
第四章 电子枪的初次操作 11
4-1 电子枪初次操作前的准备工作及灯丝退火 11
4-2 电子枪蒸发的操作 13
第五章 发射器的安装和保养 15
5-1 发射器的清洗、保养 15
5-2 发射器的安装 16
5-3 灯丝的安装 19
5-4 分流板的调换 21
5-5 灯丝引线的连接。 22
第六章 问题解答指南 23
第七章 电极和电子枪尺寸 27
7-1 扫描电极尺寸 27
7-2 高压电极尺寸 28
7-3 电子枪尺寸 28
7-4 电子枪及电极安装示意图 30
第八章 电子枪的日常保养维护 33
8-1 注意事项 33
8-2 电子枪的构造 34
8-3 电子枪的日常保养维护要领 34
敬请用户在仔细阅读本说明书后方可进行该电子枪的安装
和调试。
2
南京涉谷电子束技术有限公司
第一章 电子枪概述及性能指标
1-1. 电子枪概述
SEBG-103B型电子枪是开放式的 270℃枪,可以和任意穴位的坩埚配用;电子
束垂直轰击坩埚内的蒸发材料;加上电子束高频扫描,材料能均匀蒸发,这样就能
得到厚度均匀的镀膜。
1-1 SEBG-103A 型电子枪图
1-2. 电子枪的特征及性能指标。
SEBG-103B型电子枪的特征。
① 最大的 10KV的直流加速电压, 把从灯丝逸出的电子束加速,
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