SEBG-103B电子枪头说明书.pdfVIP

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SEBG-103B 电子枪说明书 南京涉谷电子束技术有限公司 2010 年 6 月 南京涉谷电子束技术有限公司 操作手册和日常保养维护 ─目录─ 第一章 电子枪概述及性能指标 3 1-1. 电子枪概述 3 1-2. 电子枪的特征及性能指标。 3 1-3. 电子枪的剖视图。 4 第二章 安全 7 2-1 高压 7 2-2 X 射线辐射 8 2-3 发射器的维护保养 8 第三章 电子枪的安装 9 3-1 电子枪的安装 9 3-2 电子枪的安装过程 10 第四章 电子枪的初次操作 11 4-1 电子枪初次操作前的准备工作及灯丝退火 11 4-2 电子枪蒸发的操作 13 第五章 发射器的安装和保养 15 5-1 发射器的清洗、保养 15 5-2 发射器的安装 16 5-3 灯丝的安装 19 5-4 分流板的调换 21 5-5 灯丝引线的连接。 22 第六章 问题解答指南 23 第七章 电极和电子枪尺寸 27 7-1 扫描电极尺寸 27 7-2 高压电极尺寸 28 7-3 电子枪尺寸 28 7-4 电子枪及电极安装示意图 30 第八章 电子枪的日常保养维护 33 8-1 注意事项 33 8-2 电子枪的构造 34 8-3 电子枪的日常保养维护要领 34 敬请用户在仔细阅读本说明书后方可进行该电子枪的安装 和调试。 2 南京涉谷电子束技术有限公司 第一章 电子枪概述及性能指标 1-1. 电子枪概述 SEBG-103B型电子枪是开放式的 270℃枪,可以和任意穴位的坩埚配用;电子 束垂直轰击坩埚内的蒸发材料;加上电子束高频扫描,材料能均匀蒸发,这样就能 得到厚度均匀的镀膜。 1-1 SEBG-103A 型电子枪图 1-2. 电子枪的特征及性能指标。 SEBG-103B型电子枪的特征。 ① 最大的 10KV的直流加速电压, 把从灯丝逸出的电子束加速,

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