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CN107024509-CN201710341241-一种凝血试纸及其压电传感器芯片的制备方法
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107024509 A
(43)申请公布日
2017.08.08
(21)申请号 201710341241.6
(22)申请日 2017.05.15
(71)申请人 中国科学院苏州生物医学工程技术
研究所
地址 215163 江苏省苏州市高新区科技城
科灵路88号
申请人 苏州国科芯感医疗科技有限公司
(72)发明人 郭振 周连群 张威 姚佳
张芷齐 李传宇
(74)专利代理机构 北京三聚阳光知识产权代理
有限公司 11250
代理人 马永芬
(51)Int.Cl.
G01N 27/00(2006.01)
H03H 9/19(2006.01)
权利要求书2页 说明书9页 附图7页
(54)发明名称
一种凝血试纸及其压电传感器芯片的制备
方法
(57)摘要
本发明属于生物传感技术领域,具体涉及一
种凝血试纸及其压电传感器芯片的制备方法。本
发明提供的凝血试纸包括压电传感芯片、基板、
进样板、亲水虹吸膜,结构简单,成本低廉,可批
量化制备,满足家庭化凝血检测需求;本发明提
供的压电传感芯片的制备方法包括制备相应厚
度的压电材料层,在压电材料层两侧蒸镀金属粘
附层,然后生成金属电极层,制作微电极阵列,在
微电极阵列上沉积聚对二甲苯介质膜,实现微电
极阵列的全部包被,在介质膜上固定凝血试剂,
对微电极阵列上的激励电极和接收电极进行裸
A 露处理,该方法制备的压电传感器稳定性好,灵
9 敏度高,准确度高,使用寿命长,可用于不同凝血
0
5
4 指标检测,实现多点同时检测,保证了其准确性、
2
0
7 可靠性。
0
1
N
C
CN 107024509 A 权 利 要 求 书 1/2页
1.一种用于凝血检测的压电传感器芯片的制备方法,其特征在于,包括:
根据所需的谐振频率制备相应厚度的压电材料层;
在所述压电材料层两侧蒸镀金属粘附层;
在所述金属粘附层上生成金属电极层;
在所述金属电极层上制作微电极阵列;
在所述微电极阵列上沉积聚对二甲苯介质膜,实现所述微电极阵列的全部包被;
对所述微电极阵列上的激励电极和接收电极进行裸露处理;
在所述聚对二甲苯介质膜上固定凝血试剂。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在所述金属电极层上制作微电极阵列
包括:
在所述金属电极层表面涂胶、前烘;
在制作的掩膜图形下进行曝光、显影和干燥处理;
采用湿法刻蚀和/或干法刻蚀的方法实现所述微电极阵列的制作;
经过去胶、去离子水清洗、干燥、热板去除水分子处理。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述微电极阵列包含至少一个微
电极单元,其中,每个所述微电极单元作为一个凝血检测点,根据实际需求设计成不同的形
状。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述微电极单元形状为圆形、三角形、
2
多边形中的一种或多种组合,每个所述微电极单元的有效面积最小为1μm ;
若存在相邻所述微电极单元,则相邻所述微电极单元的边缘间距为1-100μm;
所有所述微电极单元面积占其所在面面积的20-100%。
5.根据权利要求1至4任一项所述的制备方法,其特征在于,对
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