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第卷第期光学精密工程年月文章编号毛细力辅助飞秒激光直写制备各向异性及多级结构苏亚辉范珍珠汪超炜胡衍雷吴东安徽大学电气工程与自动化学院安徽合肥安徽大学计算智能与信号处理教育部重点实验室安徽合肥中国科学技术大学精密机械与精密仪器系安徽合肥摘要将飞秒激光双光子聚合加工技术和毛细力诱导自组装技术相结合实现了各向异性结构和多级结构的制备首先使用飞秒激光双光子加工技术加工出微柱阵列将微柱置于显影液中显影然后放置在空气中在显影液蒸发的过程中微柱结构单元受到毛细力的作用而弯曲实现自组装通过控制微柱的高度和直径的
第 卷 第 期 光学精密工程
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