ndl购案规范书-国家研究院.docVIP

下载本文档

1
0
约4.04千字
约 10页
2018-03-18 发布于天津
举报

ndl购案规范书-国家研究院.doc

法人家研究院家奈米元件室目次明商投前之注意事履期限收保固壹明本用於家奈米元件室之一般要求本招格有任何疑依主解化械研磨系容本系格具有多模旋式之及本系每一具有一本系每一旋速度需到每分至少至的速且旋速度可依不同程定每一需具度控制功能旋速度需到每分至少至的速且旋速度可依不同程定能力需到至且可依不同程定需具自清洗功能力至少介於至且力可依不同程定背至少介於至需以真空方式吸住需以或方式本系格具有元本系格具有整合式功能旋速度需到每分至少至的速且速可依不同程定旋速度需到每分至少至的速且旋速度可依不同程定旋速度需到

財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室規範書目錄頁次說明廠商投標前之注意事項履約期限驗收標準保固壹.說明本規範適用於國家奈米元件實驗室之一般要求本招標規格書有任何疑慮依業主解釋為準。化學機械研磨系統內容本系統規格應具有多模組旋轉式之platen table及polish head。本系統每一個platen table 應具有一組pad conditioner。本系統每一個platen table 旋轉速度需達到每分鐘至少10至150的轉速,且旋轉速度可依不同製程設定參數。每一個platen table需具備溫度控制功能。 pad condi

您可能关注的文档

文档评论（0）

1亿VIP精品文档

更多 >

ndl购案规范书-国家研究院.docVIP