X射线表征PPT.ppt

薄膜结构X射线表征;一.???? 薄膜结构完美性表征的重要性 二.???? 薄膜制备方法 三.???? 表征薄膜结构X射线技术 1.?X射线衍射 2. 双轴晶X射线衍射 3. X射线反射率,掠入射衍射 4. X射线漫散射 四. 应用实例;参 考 资 料 1. 梁敬魁.《粉末衍射法测定晶体结构》，科学出版社, 2003. 2.马礼敦.《近代X射线多晶体衍射》, 化工出版社，2004. 3.??盛篪、蒋最敏、陆肪、黄大鸣.《硅锗超晶格及低维量子结构》, 上海科学技术出版社，2004. 4.麦振洪. 《薄膜结构X射线表征》，科学出版社，2007. 5.Mai zhenhonh et al. Phys.Rev.B 41 (1990) 9930. 6.麦振洪 “高分辨X射线双晶衍射技术在半导体薄膜材料中的研究” 物理 21 (1992) 181. 7.崔树范 “掠入射X射线衍射在表面、界面和薄膜材料结构研究中的应用” 物理 22 (1993) 87.;8. 麦振洪 “X射线三晶衍射及其应用” 物理 23 (1994) 46. 9. 麦振洪 “低维材料的X射线衍射” 物理 25 (1996) 243, 303. 10. 麦振洪 吴畏 “X射线驻波及其应用” 物理 31 (1998) 93. 11. 麦振洪 “同步辐射光50年” 物理 31 (2002) 106.; 薄膜结构X射线表征 第一篇 基本实验装置 第一章 实验装置基本单元 1.1 X射线源 1.1.1 X射线产生和X射线谱 1.1.2封闭式X射线管 1.1.3同步辐射光源 1.2 X射线准直和单色化 1.2.1狭缝 1.2.2双晶单色器 1.2.3多晶单色器 1.3X射线探测器 1.3.1计数器 1.3.2位敏探测器 1.3.3面探测器; 4.4 X射线衍射强度 4.4.1 单电子散射 4.4.2 原子散射因子 4.4.3 结构因子 4.5 薄晶体衍射强度 第五章 金属多层膜的X射线衍射运动学理论 5.1成分混合/合金化的多层膜 5.2 [A/B]N多层膜 第六章 X射线衍射动力学理论(一) ---- 完美晶体 6.1 引言 6.2 完美晶体中X射线波动方程 6.3 双光束近似 6.4 色散面 6.5 劳厄几何晶体内波场振辐 6.6 布拉格几何晶体内波场振辐 6.6.1 无吸收晶体的反射率 6.6.2 有吸收晶体的反射率 6.7 双晶衍射摇摆曲线的理论计算;第七章 X射线衍射动力学理论(二)—畸变晶体 7.1 前言 7.2 晶体中的调制波 7.3 高木方程 7.4 高木方程的Taupin形式 7.5 多层膜结构的X射线双轴晶摇摆曲线计算 7.5.1.概述 7.5.2.外延材料反射率的X射线衍射动力学理论解 7.5.3 迭代公式中参数的计算 7.5.3.1.外延层的点阵参数与四方畸变 7.5.3.2. 结构因子 7.5.3.3 几何参数 7.6 应变弛豫超晶格的X射线双轴晶摇摆曲线计算 7.6.1 弛豫机制与应变分布 7.6.2 取向差与峰形展宽 7.6.2.1 取向差 7.6.2.2 衍射峰形的展宽;第八章 X射线异常衍射精细结构(DAFS)理论 8.1 没有周期调制的多层膜 8.2 [A/B]n多层膜