研磨轨迹实验评估报告.pptVIP

下载本文档

3
0
约1.06千字
约 13页
2018-03-16 发布于湖北
举报
版权申诉

研磨轨迹实验评估报告.ppt

1、本文档共13页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

研磨轨迹实验评估报告

研磨轨迹实验评估报告 G55轨迹实验 G55轨迹实验 G55实验结果 G46轨迹实验 G46轨迹实验 G46实验结果 SPC数据 G55从11月23开始使用轨迹改善转速做料，使用前10天和使用后参数比较如下： DUBOFF有所下降：均值降低16埃。 TTV有所下降：均值降低2u“。研磨轨迹与研磨纹理（未考虑盘片在孔内自转的情况下磨10秒的纹理）研磨轨迹与研磨纹理 G55 研磨轨迹与研磨纹理 G46 自转为0时的表面纹理实验结果实验方法 2种轨迹在同一周期内采用盘与盘交叉做，重复3-4个周期。避免不同修盘周期间参数差异的影响。 2种轨迹交替进行会相互影响各自轨迹参数。 G55 轨迹均匀比轨迹重复DUBOFF小10-20埃左右。轨迹均匀比轨迹重复TTV小1-2u”左右。如果排除2种轨迹交错作料，轨迹改善后DUBOFF、TTV改善应该更明显。还不能判断轨迹改善对FSW的改善。 G46：轨迹均匀比轨迹重复DUBOFF/TTV略小。 G46本身参数比较好。结论 1、轨迹均匀有利于改善DUBOFF/TTV。 2、研磨机器设定转速与实际转速有差异、不同压力下实际转速有差异：16B略大、LX很小。 3、在某些转速组合下，转速变化0.1就会使轨迹均匀性变化很大；在某些转速组合下转速变化较大轨迹都较均匀。下一步：寻找在一定转速组合下，转速变化一定范围研磨轨迹都比较均匀的工艺，以消除不同机器设定转速与实际转速的差异，保证研磨轨迹都比较均匀。考察研磨轨迹对盘片表面均匀性的影响。 * * L.PLATE 50.09/22/-7.55 UP.PLATE -16.67/22/-7.55 L.PLATE 50.09/23/-7.92 UP.PLATE -16.67/23/-7.92 轨迹二轨迹一下盘轨迹上盘轨迹实验结果（DUBOFF、TTV） L.PLATE 50/22.88/-8.68 UP.PLATE -16.60/22.88/-8.68 L.PLATE 50.06/21.98/-7.98 UP.PLATE -16.62/21.98/-7.98 轨迹二轨迹一下盘轨迹上盘轨迹实验结果（DUBOFF、TTV） 7.20 7.10 FSW FSW 研磨轨迹（120sec） 7.17 7.15 研磨纹理（10sec）下盘轨迹上盘轨迹研磨轨迹（120sec）研磨纹理（10sec）下盘轨迹上盘轨迹 *