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硅片切割故障处理之断线  HYPERLINK /home.php?mod=spacecpac=favoritetype=articleid=4651handlekey=favoritearticlehk_4651 收藏 HYPERLINK /home.php?mod=spacecpac=sharetype=articleid=4651handlekey=sharearticlehk_4651 分享2011-8-1 15:59|?发布者:? HYPERLINK /space-uid-145621.html 么西么西|?查看数: 1812|?评论数: 0 摘要: 　　一、出线口断线处理：　　1、线网断线处线头和缠绕到线导轮上的钢线清理干净，如果硅片中间有钢线要及时清理干净，防止钢线缠绕造成其他部位断线和误报警发生；　　2、在断线处抽取最外边的一根钢线连接的收线轴 ... 　　一、出线口断线处理：　　1、线网断线处线头和缠绕到线导轮上的钢线清理干净，如果硅片中间有钢线要及时清理干净，防止钢线缠绕造成其他部位断线和误报警发生；　　2、在断线处抽取最外边的一根钢线连接的收线轴。调整出线口滑轮的位置与钢线垂直；　　3、检查并排除断线的原因，彻底检查出线口侧的滑轮和收线轴的状态。如果是排线不均造成的断线，　　需要更换收线轴；　　4、启动切割，手动加速到切割速度后，点击切割运行。 　　二、入线口断线：　　1、切至10/20mm范围以内: 要采取二次入刀的处理方法， 把导向条用手晃动直至从硅块上脱落，提升工作台使硅块脱离线网，重新过线结并整理线网后开始重新入刀，打开浆料，线网高张力，启动速度0.4m/s以内，手动慢速（30mm/min以内） 下降工作台。入刀过程中如果钢线有大的线弓，需用手辅助将钢线拨入硅片间隙，工作台下降至断点高度即可。注意钢线量如果不足，应经过工艺技术员调整临时切割工艺切完本锯。 　　2、切至90%以上: 反向切割　　ａ、放线轴上需要大约10KM的钢线来缓解线轴受到的压力，防止卸放线轴困难。需要松开放线轴上白色尼龙的顶丝；　　ｂ、在断线的位置整理好线网，连接到放线轴；　　ｃ、在线网的菜单使用脚印的功能。改变放线轴和收线轴的功能； 　　ｄ、改变收线轴的排线单元，把线放到黄色滚轮上;拆下左侧排线单元排线安装到放线轴排线单元上.设置右侧线轴的排线距离。内侧设置60mm，外侧设置成355mm，排线时注意检查排线位置是否合适，要及时修改排线距离；　　ｅ、改变浆料分布，让浆料从入线侧流出。（阀门在机床顶部），右侧张力降低2N，左侧不变；　　ｆ、启动切割，在切割时。注意放线轴的排线位置；　　ｇ、及时检查张力臂抖动的情况，如果发现抖动异常或机床发出张力臂位置异常报警时，每隔0.5小时更换右侧线轴，安装使用过的放线轴。 　　3、其它割切位置：使用焊接机，过焊点机床参数设置及步骤　　ａ、低张力10N，打开浆料，流量调制100ｋｇ／min,焊点走过10cm宽度线网后，张力改为高张力；　　ｂ、记录过焊点时的收放线轴线量，走过约4ｋｍ时，焊点可达收线轴位置；　　ｃ、工作台速度以30ｕｍ/min上下往复运动，线速度小于0.5ｍ/ｓ。工作台往复运动幅度尽可能大一些，但要防止线网离开硅块或者切割硅块；　　ｄ、过焊点时注意线网状态，有无裂开，焊点断裂应及时停止所有运动，采取进一步措施；　　ｅ、焊点过完后以线速2ｍ/ｓ， 工作台100ｕｍ/min速度往复运动,高张力（Ф0.14mm,24N? 21N）(Ф0.12mm,22；20N) （Ф0.11mm,19;19N）（Ф0.10mm,15;15N）运行3000m，用高张力钢线布满整个导轮；　　ｆ、把工作台慢速下降到断线位置，使线网保持一定线弓，然后自动切割。 　　三、中间位置断线　　使用焊接机焊线，处理方法：　　1、中间断线区域剪去少量线网，应用分线网换轮使断线两侧衔接在一起，焊接两侧钢线（尽可能使焊接的钢线短一些；　　2、应用滑轮撑起松在线网外面焊接好的钢线；　　3、启用过焊点工艺运行机床（入线口张力保持高张力，出线口低张力），撑起的钢线会被缓慢的收入进线网，操作者应拿着滑轮随动，在接近完全收入线网时，撤出滑轮，用手拉住钢线防止松散，直至钢线完全收完；　　4、焊点收到收线轴后。继续走线使整个线网分布高张力。