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建立简单快速及低成本之精密机具空间定位检测仪器
卓信鴻：建立簡單、快速及低成本之精密機具空間定位檢測儀器 307
技術學刊 第二十二卷 第四期 民國九十六年 307
Journal of Technology, Vol. 22, No. 4, pp. 307-313 (2007)
建立簡單、快速及低成本之精密機具空間定位檢測儀器
卓信鴻
國立虎尾科技大學自動化工程系
摘 要
本精密機具之定位檢測為精密機具檢測出廠前最重要的檢測項目之一，傳
統的檢測方法需要大量的時間，或者是昂貴的設備 (如雷射干涉儀等) 。本研究
使用 16 顆四象限位置感測器 (QD) 及雷射光源建立精密機具校正設備。目前
位置感測器已經廣泛應用於定位檢測，但使用大量位置感測器的儀器並不多
見，因為商用的位置感測器訊號處理器價格昂貴。本研究完成建立位置感測器
平板校正系統及三軸工具機三維空間定位檢測方法，並建立取代商用級位置感
測器訊號處理器之電路模組，以達到建立簡易 、高精度及低成本之量測系統。
平板校正結果顯示，本研究所建立之系統的量測精度優於 1μm 。
關鍵詞：四象限位置感測器 (QD) 、空間定位檢測。
THE DEVELOPMENT OF ONE SIMPLE, HIGH SPEED AND LOW COST
POSITIONING TEST SYSTEM FOR PRECISION MACHINE
Hsin-Hung Jwo
Department of Automation Engineering
National Formosa University
Yunlin, Taiwan 632, R. O. C.
Key Words: quadrant detector (QD), positioning test.
ABSTRACT
The positioning test is a important test item in precision machine fab-
rication. The conventional test method takes much time and needs expen-
sive instrument (such as a laser interferometer). This project used 16 quad-
rant detectors (QD) and one laser diode to build one novel measurement
system. Position sensing detectors are frequently used in positioning tests.
Because commercial signal amplifiers fo
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