RENA设备工艺.ppt

DRYER2功能 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 AIRKNIFE ON----手动模式开启风刀 AIRKNIFE RESET----风刀复位 风刀状态 COOLINGUNIT功能 COOLINGUNIT功能 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING----给冷水机加自来水（冷水机上有液位显示） DRAINING----冷水机排水（自来水）‘ 冷水机状态 RENA传动功能 RENA传动功能 传动状态(3个) 同时控制3个传动 RENA添加桶描述 三个液位传感器,低于低液位传感器或高于高液位传感器机器都会报警,低于中液位传感器并且高于低液位传感器系统开始加液,加液时添加桶上方的气动阀打开(颜色变为绿色)。 下图为刻蚀槽添加桶画面 RENA添加桶描述 碱槽添加桶 HF槽添加桶 RENA添加桶描述 HON3的添加桶下方与其他三个添加桶不同,只有一个RV880/45,这个限流阀是生产过程中微量补液用的,而在第一次配槽时HNO3是不经过添加桶,由流量计控制直接进储液箱的,KOH,HF都是从添加桶往槽内添加.所以配槽时由于HNO3的管路不同,添加桶也和其他三个添加桶不同. RENA设备：常见问题及解决方案 序号 所遇问题 检查项目 解释说明 解决方案 1 设备运行过程中发现液位下降 风刀是否工作正常 wafer表面无水滴 用水枪冲洗风刀槽确保没有杂质与碎片堵塞 设备是否有外漏 机器的脱裂安全干燥保护 配合设备人员检查 设备是否有内漏（气动阀不能关严） 静止状态液面不会降低 2 碎片率居高不下 风刀的试量是否太大 保证片子吹干的情况下即可 调整手动阀功率一般控制在65%~75% 风刀的角度是否正常 Wafer与风向的夹角在30° 调整角度 水刀的试量是否太大 保证能冲洗到整片即可 调整手动阀 RENA设备：常见问题及解决方案 序号 所遇问题 检查项目 解释说明 解决方案 2 碎片率居高不下 水刀的角度是否合适 可以冲洗到整片 wafer上下水刀试冲到wafer的同一点。角度尽量小 调整水刀角度 风刀是否有接触到滚轮 保证滚轮始终接触不到风刀 配合设备人员检查调整风刀角度 水刀是否有接触到滚轮 保证滚轮始终接触不到水刀 配合设备人员检查调整水刀角度 滚轮型号安装位置是否正常 确保滚轮安装正确 查看安装图纸 滚轮是否发生弯曲 确保所有滚轮很平整的在一条线上面 配合设备人员解决 片子减薄量是否太大 片子减薄量控制在规定范围之内 提高带速，或减小蚀刻量 RENA设备：常见问题及解决方案 序号 所遇问题 检查项目 解释说明 解决方案 3 设备工作过程中碱洗槽高温报警 查看冷却系统是否正常 碱洗槽在超过设定温度的情况下会停止运行 将温度参数的设置值提高消除报警待温度降下来再行运行 4 设备运行过程中碱洗槽的干燥运行保护 碱液罐碱液是否不够 在碱液罐液位低于最低水平的情况下设备会自动报警停止运行 手动补充碱液，查看外围是否有碱液。 5 设备工作过程中酸洗槽高温报警 查看冷却系统是否正常 酸洗槽在超过设定温度的情况下会停止运行 将温度参数的设置值提高消除报警待温度降下来再行运行 6 第一道滚轮不转其他滚轮运行正常 查看滚轮感应器是否正常 感应器出错 将设备打到手动，关闭风刀，关闭其他滚轮，再将设备打到自动，运行 RENA开机工艺准备工作： 开机前工艺人员必须确保所有的化学用液在规定范围之内，各槽参数正常，即RENA机主界面全部是绿色的情况下方能正常运行。 RENA工艺运行参数文件 正常配液 自动补液 减薄量 温度 HNO3 HF 总量 HNO3 HF 385g/L 125g/L 480L 1Kg 0.9L/0.05kg 0.35g~0.5g 8℃±5℃ 清洗制绒槽: RENA工艺运行参数文件 清洗碱洗槽: 正常配液 自动补液 温度 换液周期 KOH浓度 总量 KOH DI 20℃±10 ℃ 24H 5% 75L 2.5L/H 6L/H RENA工艺运行参数文件 清洗酸洗槽: 正常配液 自动补液 换液周期 HF浓度 HCL浓度 总量 HF HCL DI 5~7天 15% 10% 350L 0.85L/H 2.2L/H 6L/H 控制要求：配液按工艺文件来配，自动补液根据实际情况使用微调 RENA工艺运行参数文件 刻蚀制绒槽: 正常配液 自动补液 减薄量 温度 换液周期 HNO3 HF 总量 H2SO4 HNO3 HF 0.05g~0.1g 6℃ 15天 365g/L 35g/L 350L 70L 0.22L/0.02Kg 0.14L/0.02Kg RENA工艺运行参