微波等离子技术与多种技术相结合-青岛老科技工作者协会.docVIP

下载本文档

3
0
约8.35千字
约 7页
2018-03-27 发布于天津
举报
版权申诉

微波等离子技术与多种技术相结合-青岛老科技工作者协会.doc

1、本文档共7页，其中可免费阅读3页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

微波等离子与多种技术相结合开发创新镀膜设备新型膜材料的开发在推动一些新型产业发展上将起着越来越大的作用如半导体光电子传感器等产业上它依赖创新设备的研发使用兆赫的微波能使原料气体电离率达如再结合电子回旋共振技术其电离率可达但给予离子的能量却仅为属最有利于沉积膜的能量范围不似射频沉积能量高于将给膜和衬底带来轰击损伤其另一特点是微波又可以进行长距离等离子输运原料气化或溅射后由微波使其电离并能使输运过程中一直保持等离子状态这有利于在衬底上沉积膜均匀致密且与各种衬底结合力良好基于上述特点我们开发出多种技术

微波等离子与多种技术相结合开发创新镀膜设备新型膜材料的开发，在推动一些新型产业发展上，将起着越来越大的作用（如半导体、光电子、传感器等产业上），它依赖创新设备的研发。使用2450兆赫的微波能使原料气体电离率达20％，如再结合电子回旋共振技术，其电离率可达100％，但给予离子的能量却仅为5～30ev，属最有利于沉积膜的能量范围。不似射频（RF：13.56MHZ）,沉积能量高于50ev，将给膜和衬底带来轰击损伤。其另一特点是，微波又可以进行长距离等离子输运：原料气化或溅射后由微波使其电离，并能使输运过程中一直保持等离子状态，这有利于在衬底上沉积膜均匀、致密，且与各种衬底结合力良好。基于上述