多点薄膜厚度在线监测装置设计（计算机测控大作业）学号姓名专业.docVIP

多点薄膜厚度在线监测装置设计 （ 计算机测控大作业 ） 学号： 姓名： 专业： 薄膜在线测量系统 一、系统的基本原理及组成： 整个系统由检测环节、数据采集环节、电机驱动环节、计算机处理环节等部分组成。其中检测环节部分使用电容传感器和电涡流传感器进行组合测量。系统的操作采用LabVIEW软件平台，实现了全程微机控制，加速了测量过程，使得数据分析更加简便。 图1 薄膜测量系统框图 其实际测量时，计算机通过PS一2308接口卡给步进电机发送命令，在驱动器的作用下，电机带动丝杠转动。其中电容传感器、电涡流传感器都固定在丝母(运动导轨)上，与丝母一起水平移动，对放置在固定导轨上的塑膜进行探测，从而实现多点测量。传感器的微弱信号由电容测微仪、电涡流测微仪放大滤波后进行模数转换，变为数字信号供计算机进一步处理，最终获得薄膜的厚度数值。 二、电容、电涡流传感器组合测量系统： 电容传感器是利用极距保持不变时，塑膜厚度即介电常数的变化实现测量的。若只用电容传感器对薄膜进行测量，必须首先测出传感器与导轨之间的初始距离。这就要求在未放人薄膜时先进行一次扫描，将初值采集保持后再放人薄膜重新扫描，经运算测出薄膜厚度。这样，系统对运动导轨的重复性及固定导轨的精度要求都会很高，否则机械传动带来的误差使系统达不到要求的精度。为克服以上问题，在电容传感器两侧分别安放了一个电涡流传感器。如图2所示，将3个传感器一起固定在运动导轨上形成组合传感器，电涡流传感器与电容传感器之间的距离为d，一般为几十毫米。当它处于某一位置时，假设电容传感器、电涡流传感器与 固定导轨的间距分别为s1，、s2，则有 s1-s2=△s （1） 由于塑膜为绝缘体，对电涡流传感器的输出信号无任何影响，只与传感器跟导轨的间距有关。那么，在扫描探测过程中，电涡流传感器总能实时测得s的实际值。而电容传感器测得值 与膜厚h有关，可得下式： Vo=KlSl+K2h （2） Sl=S2+AS （3） 将式(3)代人式(2)，得到： Vo=Kl(s2+△S)+K2h （4） 式中：K1、K2为可标定系数；△S为两传感器与固定导轨间距离差。由此可得到膜厚h。 图2 组合传感器系统简图 三、数据采集接口的设计计算与选取： 由于该测量系统必须是在线连续自动检测,所以我们在考虑A/D 接口时不仅要考虑到它的转换速度,而且要考虑其转换精度,因为任何一种A/D转换器都存在转换误差。在测量中我们所用电容测微仪对该薄膜材料的平均分辨率约为:20μm/500 mV = 0.04μm/mV。 假如我们选取12 位A/D ,其输入模拟量为0～+ 10 V ,那么转换器输出的数字量的当量为: 　　当12 位A/D 转换器总误差为±1 LSB 时,其采集电路给整个测量带来的误差为±0.1μm ,因此能满足测量的精度要求。如果选取8 位A/D ,它给整个测量带来的误差将是±1.57μm ,显然不能满足要求。如果再选取比12 位分辨率高的A/D 也没有必要,因为它对提高整个精度意义不大,只会增加成本。考虑到生产线上速度只是0.5～5 m/s 这样的低速,所以我们选取转换时间为35μs、分辨率为12 位、总误差为±1LSB 的逐次逼近式A/D 574 转换器就完全能满足要求了。 四、软件设计与开发： 根据生产线上动态测量的要求，应用软件必须具有监视(超差报警)、实时数据及曲线显示、测量结果的存储及打印等几项功能。同时还应具有友好的界面，以便操作者使用。本系统测量软件平台是图形化的编程语言LabVIEW，操作者可通过交互式的图形面板对系统进行控制，在该软件的前面板体现的是软件的界面，在图表板中则是实际的程序设计，程序通过前面板上各种按钮的响应执行相应的子例程，在子例程里对仪器进行通讯，可以读取仪器的数据，也可以对仪器发送命令。程序不断扫描前面板的按钮，当某按钮按下时，程序就执行该按钮所对应的子模块例程，然后回到主界面上，各模块流程图如图3所示。 图3 各模块程序流程图