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第卷第期光学精密工程年月文章编号超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统王磊杰张鸣朱煜鲁森杨开明清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京摘要开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统介绍了系统测量原理设计了测量系统提出了基于公式的系统死程误差建模方法设计制造了尺寸仅为的光栅干涉仪基于误差模型计算了死程误差计算结果表明对于死程的光
第 卷 第 期 光学精密工程
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